多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第11页
INS-NXTMWU-4.2S 目录 多功能晶圆单元使用说明书 v 7.12.2 吸嘴的安装步骤 ......................... 213 7.13 料站类型更换向导 ...... ............... 215 8. 手动模式指令 ............................. 217 8.1 从菜单画面上选择指令项目 . ............. 217 8.1.1 指令菜单画面 ......…
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iv 多功能晶圆单元使用说明书
7.3.2 安装步骤 ................................ 154
7.3.3 晶圆图表的指定 .......................... 158
7.3.4 如何显示跳过晶片指定的菜单画面 .......... 161
7.3.5 晶圆托架的运用 .......................... 162
7.4 指定吸取开始点 （晶圆托架）............. 165
7.4.1 如何显示吸取开始点指定画面 .............. 165
7.4.2 指定吸取开始点 .......................... 167
7.5 指定跳过晶片 ........................... 168
7.5.1 如何显示跳过晶片指定画面 ................ 168
7.5.2 指定跳过晶片 ............................ 170
7.5.3 对跳过晶片设定进行初始化 ................ 176
7.6 晶圆示教 ............................... 177
7.6.1 如何显示晶圆示教画面 .................... 177
7.6.2 行列数的设定 ............................ 179
7.6.3 图表影像和实际影像的确认 ................ 180
7.6.4 模板图表的设定 .......................... 187
7.7 卸下托架 ............................... 193
7.7.1 如何显示托架卸下画面 .................... 193
7.7.2 卸下托架 ................................ 194
7.8 补救错误元件 ........................... 196
7.8.1 如何显示错误元件补救画面 ................ 196
7.8.2 错误元件补救的设定 ...................... 198
7.9 顶起销的位置调整 ....................... 199
7.9.1 顶起销位置调整画面 ...................... 199
7.9.2 进行顶起销的位置调整 .................... 199
7.10 安装顶起销 ............................ 200
7.10.1 顶起销安装向导画面 ..................... 200
7.10.2 顶起销的安装步骤 ....................... 200
7.11 元件补充 （料盘元件的安装）............ 207
7.11.1 料盘元件安装向导画面 ................... 207
7.11.2 料盘元件的安装步骤 ..................... 208
7.11.3 指定吸取开始点 ......................... 211
7.12 安装吸嘴 .............................. 212
7.12.1 吸嘴安装向导画面 ....................... 212
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多功能晶圆单元使用说明书 v
7.12.2 吸嘴的安装步骤 ......................... 213
7.13 料站类型更换向导 ..................... 215
8. 手动模式指令............................. 217
8.1 从菜单画面上选择指令项目 .............. 217
8.1.1 指令菜单画面 ............................ 217
8.2 单元更换指令 .......................... 218
8.2.1 如何显示吸嘴更换画面 .................... 218
8.2.2 吸嘴更换 ................................ 219
8.3 退避指令 .............................. 220
8.3.1 如何显示料盘箱退避画面 .................. 220
8.3.2 料盘箱退避 .............................. 221
8.4 信息指令 .............................. 222
8.4.1 如何显示信息画面 ........................ 222
8.5 测试指令 .............................. 223
8.5.1 如何显示菜单画面 ........................ 223
8.5.2 影像获取 ................................ 224
8.5.3 吸取测试 ................................ 228
8.5.4 顶起销位置调整 .......................... 233
8.5.5 切割宽度设定 ............................ 235
9. 多功能晶圆单元的卸下和安装............... 241
9.1 卸下方法 .............................. 242
9.2 安装方法 .............................. 243
9.2.1 安装前的确认 ............................ 243
9.2.2 安装方法 ................................ 244
10. 预防保养................................ 247
10.1 关于预防保养 ......................... 247
10.1.1 关于作业周期 ........................... 247
10.1.2 作业时的注意事项 ....................... 247
10.1.3 准备物品 ............................... 247
10.1.4 关于加油 ............................... 249
10.1.5 基本的加油步骤 ......................... 249
10.2 作业列表 ............................. 250
10.2.1 运转时操作人员进行的作业 ............... 250
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vi 多功能晶圆单元使用说明书
10.2.2 维修保养人员进行的作业 ................. 251
10.3 每天 （24 小时以内）的作业 ............. 253
10.3.1 清扫多功能晶圆单元用废料带箱
（每 8 个小时）........................... 253
10.3.2 清扫元件排出箱 （每 24 个小时）.......... 253
10.4 每周 （160 小时）的作业 ................ 255
10.4.1 清扫供料器料槽和接插件 ................. 255
10.5 每 2 周 （320 小时）的作业 .............. 256
10.5.1 清扫防静电装置 ......................... 256
10.6 每月 （700 小时）的作业 ................ 257
10.6.1 往复臂皮带的清扫和加油 ................. 257
10.6.2 更换晶片往复臂的吸嘴真空过滤器 ......... 258
10.6.3 更换 PP 单元的真空过滤器 ................ 259
10.6.4 清扫 PP 单元的吸嘴吸取面 ................ 259
10.6.5 清扫 PP 相机的盖罩玻璃 .................. 260
10.6.6 更换顶起单元的真空过滤器 ............... 261
10.6.7 顶起单元的 EZ 轴滚珠丝杆的加油 ......... 262
10.6.8 更换翻转单元的吸嘴过滤器 ............... 263
10.7 每 3 个月 （2000 小时）的作业 ........... 265
10.7.1 PP 单元的吸嘴夹紧销的更换 .............. 265
10.8 每 6 个月 （4000 小时）的作业 ........... 266
10.8.1 更换大中尺寸晶片用顶起筒的凸缘 ......... 266
10.9 每年 （8000 小时）的作业 ............... 268
10.9.1 PP 相机的半透半反光镜的清扫 ............ 268
10.9.2 更换防静电装置 ......................... 269
10.10 每 12000 小时的作业 ................... 270
10.10.1 驱动部的加油 .......................... 270
10.10.2 皮带张力的点检和调整 .................. 278
10.11 不定期作业 ........................... 285
10.11.1 清扫 PP 单元的吸嘴 ..................... 285
10.11.2 清扫晶片往复臂的吸嘴 .................. 286
10.11.3 清扫翻转单元的吸嘴 .................... 288
10.11.4 向升降部齿轮加油 ...................... 290
10.11.5 清扫防静电装置 ........................ 291