多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第333页
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件 多功能晶圆单元使用说明书 319 12.2 更换 CPU 箱 12.2.1 必要的物品 十字螺丝刀、一字螺丝刀、六角 扳手一套、 内置电源控制用电阻 （电阻值：1M Ω 以上）的腕带、 交叉以太网电缆 、NXT-2 软件 CD-ROM、 安装了辅助软件的电脑、固有值 的备份数据 12.2.2 准备作业 1. 请准备在?? 4.5.5 备份固有值?? 中保存的最新的固有值备份数据 。 2.…
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
318 多功能晶圆单元使用说明书
侧面盖罩 （左侧）
1. 请拆下侧面盖罩 （左侧后方）。（详细请参照 [ 侧面盖罩 （左侧后方）]。）
2. 请拆下操作面板盖罩。（详细请参照 [ 操作面板盖罩。）
3. 请松开操作面板固定螺栓 （2 根）。
4. 请拆下正面盖罩 （下方）。（详细请参照 [ 正面盖罩 （中央、下方）]。）
5. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧下方）。
6. 请打开正面门，拆下螺丝然后拆下侧面盖罩 （左侧）。
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 319
12.2 更换 CPU 箱
12.2.1 必要的物品
十字螺丝刀、一字螺丝刀、六角扳手一套、
内置电源控制用电阻 （电阻值：1MΩ 以上）的腕带、
交叉以太网电缆、NXT-2 软件 CD-ROM、
安装了辅助软件的电脑、固有值的备份数据
12.2.2 准备作业
1. 请准备在?? 4.5.5 备份固有值??中保存的最新的固有值备份数据。
2. 如果多功能晶圆单元的 PP 吸嘴被安装在了 PP 工作头上，请拆下吸嘴。
12.2.3 更换方法
警告
请务必切断机器的主电源，然后进行更换作业。
注意
插拔连接电缆时，请握住接插件，不要拉扯电缆。
连接接插件时，请确认接插件名称，不要出错。
在带静电的情况下持续作业，有可能损坏 CPU 箱内的电子元件。
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
320 多功能晶圆单元使用说明书
1. 从模组上卸下多功能晶圆单元。
2. 拆下螺丝，拆下 CPU 箱的盖罩。
3. 请将防静电腕带戴在手腕处。腕带的连接口 （EARTH BONDING POINT）被设置在基座的
正面和后面上方。
4. 使用 No.1 尺寸的十字螺丝刀和一字螺丝刀，拆下 CPU 箱的以■表示的连接电缆。
5. 拆下螺栓，从多功能晶圆单元上拆下支架和 CPU 箱。
6. 拆下螺栓，从 CPU 箱上拆下支架。
7. 按照拆下时的相反步骤，将新的 CPU 箱安装到多功能晶圆单元上。
8. 在不安装 CPU 箱的盖罩的情况下将多功能晶圆单元安装到模组上。基座的主电源开关请
不要设置到 ON。
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HEAD
12V
MARK PART1
PANEL LINK
LAN
RS232CCUNET
BAT
5
6
7
8
1
2
RGB IN
USB
DIO
UART1-4
1394PO
I/O OUT IN
PART 2
TRIG OUT TRIG IN
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