多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第270页
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 256 多功能晶圆单元使用说明书 10.5 每 2 周 （320 小时）的作业 10.5.1 清扫防静电装置 1. 请将主电源开关设置为 OFF。 2. 拆下螺丝，卸下左侧面的维修保养盖罩。 3. 将六角扳手插入放电针单元的底面，转动 放电针单元将其拆下。 4. 用浸有酒精的棉棒等，擦去放电针单元的 放电针及其周围的污垢。 5. 将六角扳手插入放电针单元的底面，与拆 下放电针单元时相反方…
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 255
10.4 每周 （160 小时）的作业
10.4.1 清扫供料器料槽和接插件
1. 请打开模组的侧面盖罩门。
2. 使用吸尘器吸取积存在料槽部和供料器接插件部的垃圾和灰尘。必要时，请使用刷子仔
细地清扫。
3. 请关闭模组的侧面盖罩门。
01NST-0697a
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
256 多功能晶圆单元使用说明书
10.5 每 2 周 （320 小时）的作业
10.5.1 清扫防静电装置
1. 请将主电源开关设置为 OFF。
2. 拆下螺丝，卸下左侧面的维修保养盖罩。
3. 将六角扳手插入放电针单元的底面，转动放电针单元将其拆下。
4. 用浸有酒精的棉棒等，擦去放电针单元的放电针及其周围的污垢。
5. 将六角扳手插入放电针单元的底面，与拆下放电针单元时相反方向转动扳手，安装放电
针单元。
备注 )以 0.3Nm 以下的旋紧力矩安装放电针单元。
6. 安装左侧面的维修保养盖罩。
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多功能晶圆单元使用说明书 257
10.6 每月 （700 小时）的作业
10.6.1 往复臂皮带的清扫和加油
1. 请从模组上卸下多功能晶圆单元。（详细内容请参照 "9.1 卸下方法 "。）
清扫往复臂皮带表面
2. 用干净的布干擦往复臂皮带的表面。
向往复臂皮带背面加油
3. 请抬起往复臂皮带，用干净的布擦去往复臂皮带背面和皮带导轨的污垢。
4. 用干净的布浸取 Gluebar A20，涂敷皮带背面和皮带导轨的皮带接触面。
5. 手动移动往复臂皮带，使润滑油循环。
6. 请将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "。）。
润滑油 加油处 加油量 (cc)
Gluebar A20 （NOK） 往复臂皮带 -
01NST-0705b