多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第43页

INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 29 4.3 变更到对应多功能晶圆的模组 为了使用多功能晶圆单元， 需要对应多功能晶圆单元的模组。 此处， 说明从标 准模组变更到 多功能晶圆单元对应模组的方法 。 4.3.1 准备物品 开始作业之前，请确认以下的物 品已经全部准备好了。 工具 六角扳手一套，十字螺丝刀 单元 名称 形状 多功能晶圆单元用 废料带输送槽 多功能晶圆单元用 废料带滑槽 多功能晶圆单元用 …

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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
28 多功能晶圆单元使用说明书
3. 请利用盖罩的安装螺丝孔，使用附属的螺丝和垫圈安装主电源开关 ON/OFF 单元。
4. 转动主电源开关 ON/OFF 单元的旋钮，确认基座的主电源开关准确地动作。
ON/OFF
OFF
ON
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 29
4.3 变更到对应多功能晶圆的模组
为了使用多功能晶圆单元，需要对应多功能晶圆单元的模组。此处，说明从标准模组变更到
多功能晶圆单元对应模组的方法。
4.3.1 准备物品
开始作业之前，请确认以下的物品已经全部准备好了。
工具
六角扳手一套，十字螺丝刀
单元
名称 形状
多功能晶圆单元用
废料带输送槽
多功能晶圆单元用
废料带滑槽
多功能晶圆单元用
废料带箱座
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
30 多功能晶圆单元使用说明书
4.3.2 作业步骤
1. 请将基座的主电源开关设置到 OFF。
2. 请拆下供料器安装部的盖罩。
3. 拆下安装螺丝，拆下现有的废料带输送槽。
多功能晶圆单元用
废料带箱
名称 形状