多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第126页
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S 112 多功能晶圆单元使用说明书 5.7 通过 Collet Spec Editor 的设定 Collet Spec Editor 能够进行以下的编辑。此 处,说明 Collet Spec Editor 的使用方法。 ·顶起销的配置设定 ·筒夹规格数据的复制 ·筒夹规格数据的导入 ·筒夹规格数据的删除 5.7.1 关于筒夹销配置对话框 启动 Collet Spec Editor…

INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 111
2. 从文件菜单中选择 [Save Job]。
备注 )在没有进行该操作的情况下执行其他的测试指令或者结束MEdit,就会显示以下的确认
信息。如果要保存 Job,请按下 [Yes].
至此,完成切割宽度设定。
01NST-1646E
01NST-1647E

5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
112 多功能晶圆单元使用说明书
5.7 通过 Collet Spec Editor 的设定
Collet Spec Editor 能够进行以下的编辑。此处,说明 Collet Spec Editor 的使用方法。
·顶起销的配置设定
·筒夹规格数据的复制
·筒夹规格数据的导入
·筒夹规格数据的删除
5.7.1 关于筒夹销配置对话框
启动 Collet Spec Editor 后,筒夹配置对话框就会打开。
筒夹数据列表
列表显示从数据管理器取得的筒夹规格数据。点击列表后,就能够选择进行设定的数据。
选项操作
进行以下的操作。
a. Duplicate: 复制所选择的筒夹数据列表。
b. Import: 导入筒夹规格数据,并且追加到筒夹数据列表内。
c. Delete: 从列表中删除所选择的筒夹数据。
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INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 113
销编辑画面
在画面上设定顶起销的安装位置。
a. 白圈 : 不安装顶起销的位置。
b. 黑圈 : 安装顶起销的位置。
项目设定
设定顶起销和筒夹的数据。
保存和结束
a. Save: 按下按钮,保存所编辑的数据。
b. Exit: 按下按钮,结束销配置设定对话框。
标签页名 项目 说明
PinData Group 表示顶起销的配置 Group。
Quadrant 表示顶起销的配置象限。
PinPosX X 轴的销间距。
PinPosY Y 轴的销间距。
IsPin 进行是否配置顶起销的设定。
PodData Revision 表示修订名。
PinCount 要配置的顶起销的数量。
ColType 表示筒夹类型。
MinimumDieSize 能够对应的晶片的最小尺寸。
MaximumDieSize 能够对应的晶片的最大尺寸。
Type 表示筒夹的形状。
PodSizeX X 方向的 Pod 尺寸。
PodSizeY Y 方向的 Pod 尺寸。
OrgPushupHeight 表示筒夹的顶起高度。
MarkOffX X 轴的 Pod 定位点位置。
MarkOffY Y 轴的 Pod 定位点位置。