多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第326页
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S 312 多功能晶圆单元使用说明书 12.1.2 必要工具 十字螺丝刀、六角扳手一套 12.1.3 拆下方法 背面盖罩 1. 请打开背面盖罩左右的维修保养门。 备注 )如果是没有右侧维修保养门的背面盖罩，只要打开左侧维修保养门。 2. 从左侧维修保养门内的防静电装置的嘴上 拔下空气管。 警告 拆下和安装多晶圆单元盖罩时 ，请务必将多晶圆单元从机器上拆 下然后进 行。 01NST -0729…
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 311
12. 更换部件
12.1 拆下盖罩
12.1.1 盖罩构成部件
1. 正面门 7. 侧面盖罩 （右侧下方）
2. 背面盖罩 8. 操作面板盖罩
3. 正面盖罩 （下方） 9. 侧面盖罩 （左侧后方）
4. 正面盖罩 （中央） 10. 侧面盖罩 （左侧下方）
5. 侧面盖罩 （右侧后方） 11. 侧面盖罩 （左侧）
6. 侧面盖罩 （右侧）
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12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
312 多功能晶圆单元使用说明书
12.1.2 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手一套
12.1.3 拆下方法
背面盖罩
1. 请打开背面盖罩左右的维修保养门。
备注 )如果是没有右侧维修保养门的背面盖罩，只要打开左侧维修保养门。
2. 从左侧维修保养门内的防静电装置的嘴上拔下空气管。
警告
拆下和安装多晶圆单元盖罩时，请务必将多晶圆单元从机器上拆下然后进
行。
01NST-0729b
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 313
3. 请拆下螺丝，拆下背面盖罩。
备注 ) 如果是没有右侧维修保养门的背面盖罩，通过 8 个螺丝被固定。
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