多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第152页

6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 138 多功能晶圆单元使用说明书 10.请拿住捏手，抬起 托架挡块。 11.请关闭正面门。 备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。 12.请按下画面上的 SUPPLY COPLT 按钮。 备注 )之后，多功能 晶圆单元进行晶圆托架的高度测定 。如果高度没有异常 ，显示参考晶 片 指定画面。请进行参考晶片指定。 （参照 "6.5 指定参考晶片 "。 ） 如…

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多功能晶圆单元使用说明书 137
7. 请按下画面上的 OK 按钮。
8. 显示晶圆图表指定画面。请指定晶圆图表。（"7.3.3 晶圆图表的指定 "。）
备注 )该操作只是在 Job 中设定了使用晶圆图表时才需要。
9. 在向导画面上显示了以下示意图的时候，通过按下箭头按钮，显示各自的指定画面。必
要时请指定。
a. 右箭头按钮：指定跳过晶片 （参照 "7.3.4 如何显示跳过晶片指定的菜单画面 "。）。
b. 左箭头按钮：指定吸取方向 （指定吸取开始点）
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6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
138 多功能晶圆单元使用说明书
10.请拿住捏手，抬起托架挡块。
11.请关闭正面门。
备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。
12.请按下画面上的 SUPPLY COPLT 按钮。
备注 )之后，多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。如果高度没有异常，显示参考晶片
指定画面。请进行参考晶片指定。（参照 "6.5 指定参考晶片 "。）
如果完成了参考晶片的指定，则完成晶圆的补充。
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6.5 指定参考晶片
补充晶圆时，需要指定参考晶片。在多功能晶圆单元中安装晶圆托架，按下 SUPPLY COPLT
按钮后，显示参考晶片指定画面。
6.5.1 参考晶片指定画面
6.5.2 指定参考晶片
1. 请按下其中一个按钮。