多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第155页

INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产多功能晶圆单元使用说明书 141 3. 请确认影像处理结果，按下 NEXT 按钮。相机移动到下一个参考晶片，并且进行影像处理。备注 )影像处理结果为 OK 时，NEXT 按钮的背景变成绿色。 4. 请重复之前的各项操作，调整下一个参考晶片的位置。 5. 请确认被指定的所有的参考晶片的位置，按下 NEXT 按钮。之后，显示吸取开始点的确认画面。关于吸取开始点的确认，请参照 &…

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2. 请调整参考晶片的位置。

a. 如果要通过晶圆图表修正参考位置时，请进行以下的操作。

·请按下上下左右的滚动按钮，移动到想要指定的晶片的位置，然后点击对象晶

片。

备注 )被点击的晶片变成新的参考晶片。

·按下 Reference Check 按钮。相机移动到所指定的位置进行影像处理。

b. 如果要在实时影像上调整参考晶片的位置时，请进行以下的操作。

·请按下上下左右的滚动按钮，调整参考晶片的位置。

·请按下 Reference Check 按钮。相机移动到所指定的位置进行影像处理。

备注 )影像处理没有 OK 时，按下强制 Reference OK 按钮。此时，将现在位置作为读取位置，

并且补正量变成 0。

Reference Check

Reference OK

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3. 请确认影像处理结果，按下 NEXT 按钮。相机移动到下一个参考晶片，并且进行影像处

理。

备注 )影像处理结果为 OK 时，NEXT 按钮的背景变成绿色。

4. 请重复之前的各项操作，调整下一个参考晶片的位置。

5. 请确认被指定的所有的参考晶片的位置，按下 NEXT 按钮。

之后，显示吸取开始点的确认画面。关于吸取开始点的确认，请参照 "6.5.3 指定吸取开始

点"。

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6.5.3 指定吸取开始点

在确认了参考晶片的影像处理后，进行吸取开始点的指定。

1. 请使用上下左右的滚动按钮来移动图表影像，指定吸取开始点。

备注 )中央的红色晶片为吸取开始点。

备注 )此处，如果想要变更已指定的参考晶片时，请移动到参考补救画面。按下 BACK 按钮。

（参照 "6.5.4 关于参考补救 "。）

2. 请使用实时影像的滚动按钮进行微调整，使得开始吸取的晶片处在中央。

3. 请对照生产，选择吸取方向。

4. 请按下 NEXT 按钮。

·如果完成了所有料槽的参考晶片的指定和吸取开始点的指定以及吸取方向的设

定，就会开始生产。

·如果没有完成所有料槽的这些设定，显示下一个料槽的参考晶片指定画面。

备注 )如果按下 BACK 按钮，则返回到吸取开始点指定画面。

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