多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第298页
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 284 多功能晶圆单元使用说明书 〈塔部〉 1. 请拆下右侧面盖罩。 （详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。 ） 2. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的 中央位置的测定值时是否在规定值 内。 3. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力 。松开各轴的固定螺栓和锁定螺母 ，然后转动 调整螺栓进行调整。 4. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。 5. 再次测定测定…
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7. 将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
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10.11 不定期作业
10.11.1 清扫 PP 单元的吸嘴
以 150,000 次的吸嘴吸取作为参考，或者吸取异常时请进行清扫。
1. 请执行手动指令的吸嘴更换指令。（详细内容请参照 "8.2 单元更换指令 "。）
2. 从多功能晶圆单元上拆下吸嘴更换器，从吸嘴更换器上拆下吸嘴。（详细内容请参照
"7.12.2 吸嘴的安装步骤 "。）
3. 使用气枪向吸嘴的外侧和内侧喷射压缩空气，除去尘埃等。
4. 使用浸有洗净液 （乙醇酒精、异丙醇酒精）的棉棒，轻轻擦拭橡胶部端面 （吸嘴前
端）。
注意 )请不要使用超声波洗净器。浸橡胶部分浸入水或洗净液中，橡胶会老化，影响生产。
5. 使用浸有洗净液 （乙醇酒精、异丙醇酒精）的棉棒，擦去 2D 码表面和法兰盘面的污
垢。使用气枪等除去残留在 2D 码部分的洗净液。
6. 请确认法兰盘面没有压痕、鼓起和飞边。
7. 将吸嘴安装到吸嘴更换器上，将吸嘴更换器上安装到多功能晶圆单元上。（详细内容请
参照 "7.12.2 吸嘴的安装步骤 "。）
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