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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 288 多功能晶圆单元使用说明书 10.11.3 清扫翻转单元的吸嘴 以 150,000 次的吸嘴吸取作为 参考，或者吸取异常时请进行清扫 。 1. 请打开背面盖罩右侧面的维修保养门。 备注 )如果是没有背面右侧面维 修保养门的多功能晶圆 单元，请从 模组上卸下多功能晶圆 单 元，拆下背面盖罩。 （详细内容请参照 "9.1 卸下方法 " 和 "12.1 拆下…
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 287
〈关于超声波清洗器的使用〉
使用超声波清洗器清扫吸嘴时，请遵守以下的事项。
· 清洗器：60W 以上，并且是眼镜或贵金属专用的清洗器。
· 清洗液：以乙醇酒精、异丙醇酒精为主要成分的清洗液。
· 清洗时间：15 分钟。
· 粘贴了 2D 码的吸嘴，请不要使用超声波清洗器。只是刻有 2D 激光标记的吸嘴才能够使
用超声波清洗器进行清洗。
· 初次使用清洗器时，请放入 1 ～ 2 个吸嘴进行清洗测试，确认不会影响吸嘴的涂层和吸
取垫部。
· 清洗后，请马上用气枪除去残留的清洗液。另外，请充分确认清洗液的污染程度，不要
使吸嘴受到 2 次污染。
