多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第178页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 164 多功能晶圆单元使用说明书 4. 安装了晶圆压板后，使用旋钮进行固定。 此时，平均紧固 8 处。对角上的旋钮为一组， 按照图的顺序进行紧固。 01NST -1995S य़ᵓ 䇋ᣝ✻ҹϟⱘ乎ᑣഛ㸵ഄ㋻DŽ 1 1 11 4 3 22 2 2 3 3 4 4
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 163
在手动拉伸托架上的安装请按照以下的步骤。
1. 从托架基座上取下全部旋钮。
2. 安装垫片。
3. 安装带框架的晶圆，并且靠住托架基座的定位销。
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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
164 多功能晶圆单元使用说明书
4. 安装了晶圆压板后，使用旋钮进行固定。此时，平均紧固 8 处。对角上的旋钮为一组，
按照图的顺序进行紧固。
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