多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第268页
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 254 多功能晶圆单元使用说明书 3. 请除去积存在元件排出箱内的元件。 注意 )将元件排出箱完全插入台座中 。如果元件 排出箱没有完全插入台座中 ，运转时有可 能 与工作头发生冲突。 晶片往复臂用元件排出箱 1. 打开正面门。 2. 打开右侧面的维修保养门。 3. 向上拉出元件排出箱。 4. 请除去积存在元件排出箱内的元件。 注意 )将元件排出箱完全插入台座中 。如果元件 排出箱没有完…
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 253
10.3 每天 （24 小时以内）的作业
10.3.1 清扫多功能晶圆单元用废料带箱 （每 8 个小时）
1. 将废料带箱拉到跟前然后拆下。
2. 用剪刀剪下从料带供料器处垂下的表面薄膜。
3. 请除去积存在废料带箱内的废料带。
4. 将废料带箱返回到基座内。
10.3.2 清扫元件排出箱 （每 24 个小时）
元件排出箱 （托架往复臂旁边）
1. 请打开模组侧面盖罩。
2. 向上拉出元件排出箱。
01NST-0706c
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
254 多功能晶圆单元使用说明书
3. 请除去积存在元件排出箱内的元件。
注意 )将元件排出箱完全插入台座中。如果元件排出箱没有完全插入台座中，运转时有可能
与工作头发生冲突。
晶片往复臂用元件排出箱
1. 打开正面门。
2. 打开右侧面的维修保养门。
3. 向上拉出元件排出箱。
4. 请除去积存在元件排出箱内的元件。
注意 )将元件排出箱完全插入台座中。如果元件排出箱没有完全插入台座中，运转时有可能
与工作头发生冲突。
01NST-1322a
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 255
10.4 每周 （160 小时）的作业
10.4.1 清扫供料器料槽和接插件
1. 请打开模组的侧面盖罩门。
2. 使用吸尘器吸取积存在料槽部和供料器接插件部的垃圾和灰尘。必要时，请使用刷子仔
细地清扫。
3. 请关闭模组的侧面盖罩门。
01NST-0697a