多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第245页
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令 多功能晶圆单元使用说明书 231 6. 显示晶片位置调整画面。请指定进行吸取 测试的晶片。 a. 在影像图表中，选择进行吸取测试的晶片 。 b. 请按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的 中心。 备注 )按下 CANCEL 按钮后，返回到料槽选择画面。按下 BACK 按钮后，返回到前项的画面。 7. 请按下 NEXT 按钮。多功能晶圆单元按照编辑后的 数据进行吸取测试。 备注 …
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
230 多功能晶圆单元使用说明书
5. 请按下 START 按钮。多晶圆单元以被变更的数值开始吸取动作。
注意 )
1.按下 START 按钮后，画面的数据被反映给多晶圆单元。因此，生产时按照编辑后的数
据进行吸取。
2.所编辑的数据不会被反映给 Fuji Flexa 侧的 Job。因此，进行了 Job 传输后，所编
辑的数据返回到原来的状态。
3.Collet 数据在生产时不会被反映。变更了设定后，请反映到 Job 编制器的以下项目
中，按照执行了优化的 Job 进行生产。
·[ShapeData][ShapeProcess][Die]][Generic - Collet Nmme]
备注 )如果对象料槽的吸取开始点没有被指定，机器就会异常停止。
[Pick]
Pickup Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定晶片吸取时的下降端的停止时间。( 单
位ms)
Offset X (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 X 方向修正
值。(单位mm)
Offset Y (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Y 方向修正
值。(单位mm)
Offset Z (-2.00 ～ 2.00) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Z 方向修正
值。(单位mm)
(*) 设定了 Offset X,Y,Z 后，根据吸取位置的修正，顶起销的顶起位置也进行修
正。
[Collet]
设定安装顶起销的 4 个筒夹的类型
(*) 所选择的筒夹类型以蓝色被翻转显示。
项目名 值 说明
01NST-1624
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 231
6. 显示晶片位置调整画面。请指定进行吸取测试的晶片。
a. 在影像图表中，选择进行吸取测试的晶片。
b. 请按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中心。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，返回到料槽选择画面。按下 BACK 按钮后，返回到前项的画面。
7. 请按下 NEXT 按钮。多功能晶圆单元按照编辑后的数据进行吸取测试。
备注 )根据运转模式，吸取动作有所不同。
8. 显示吸取测试的结果。请确认吸取状态。
a. 直接供应模式时
备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。
直接供应模式 使用 NXT 侧相机对吸取的晶片进行影像处理。其结果显
示在 NXT 操作画面上。
使用 NXT 侧相机对吸取晶片的轨迹进行影像处理。其结
果显示在 NXT 操作画面上。
往复臂供应模式 使用 NXT 侧相机对吸取的晶片进行影像处理。其结果显
示在 NXT 操作画面上。
使用 PP 单元的相机对吸取晶片的轨迹进行影像处理。其
结果显示在 MWU 操作画面上。
BACK NEXTCANCEL
