多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第243页
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令 多功能晶圆单元使用说明书 229 3. 请 按下 OK 按 钮。 4. 显示吸取数据编辑画面。请变更晶片吸取 所需的数据。 备注 )关于数值的指定项目，按下项目名后就会显示数字键。请输入数值后按下数字键。 a. P ush Up Para Mode：Man ual 时 备注 )能够变更顶起动作的设定。 b. P ush Up Para Mode：Aut o 时 备注 )顶起动作的设定变…
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
228 多功能晶圆单元使用说明书
8.5.3 吸取测试
对于没有生产实绩的晶片，如果不调整以下的设定，有可能无法吸取。
·顶起销的顶起高度
·顶起速度
·晶片吸取时的下降端时间
因此，请进行吸取测试，确认实际的吸取状态。
1. 请按下吸取测试指令。
备注 )如果没有完成自动校正，就会显示错误画面。请将画面返回到生产模式，执行校正。
2. 显示料槽选择画面。通过箭头按钮选择进行吸取测试的被安装了晶圆的料槽。
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INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 229
3. 请按下 OK 按钮。
4. 显示吸取数据编辑画面。请变更晶片吸取所需的数据。
备注 )关于数值的指定项目，按下项目名后就会显示数字键。请输入数值后按下数字键。
a. Push Up Para Mode：Manual 时
备注 )能够变更顶起动作的设定。
b. Push Up Para Mode：Auto 时
备注 )顶起动作的设定变成 [ColletSpec] 的推荐值。
项目名 值 说明
[Pressure Pin]
Push Up
Parameter Mode
(Auto/Manual) 指定顶起销参数的设定方法
指定了 [Auto] 后，只显示以下的 [Push Up
Wait Time]。
Push Up Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定顶起销上升后的停止时间
(单位ms)
Push Up Height (0.0 ～ 1.5) 设定顶起销的晶片顶起高度。
Speed Change
Height
(0.0 ～ ) 设定切换顶起参数的高度。
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[Speed Change Height]
[Speed Change Height]
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8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
230 多功能晶圆单元使用说明书
5. 请按下 START 按钮。多晶圆单元以被变更的数值开始吸取动作。
注意 )
1.按下 START 按钮后，画面的数据被反映给多晶圆单元。因此，生产时按照编辑后的数
据进行吸取。
2.所编辑的数据不会被反映给 Fuji Flexa 侧的 Job。因此，进行了 Job 传输后，所编
辑的数据返回到原来的状态。
3.Collet 数据在生产时不会被反映。变更了设定后，请反映到 Job 编制器的以下项目
中，按照执行了优化的 Job 进行生产。
·[ShapeData][ShapeProcess][Die]][Generic - Collet Nmme]
备注 )如果对象料槽的吸取开始点没有被指定，机器就会异常停止。
[Pick]
Pickup Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定晶片吸取时的下降端的停止时间。( 单
位ms)
Offset X (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 X 方向修正
值。(单位mm)
Offset Y (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Y 方向修正
值。(单位mm)
Offset Z (-2.00 ～ 2.00) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Z 方向修正
值。(单位mm)
(*) 设定了 Offset X,Y,Z 后，根据吸取位置的修正，顶起销的顶起位置也进行修
正。
[Collet]
设定安装顶起销的 4 个筒夹的类型
(*) 所选择的筒夹类型以蓝色被翻转显示。
项目名 值 说明
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