多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第219页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 205 8. 安装筒。使定位销对准槽口然后插入筒 ，用螺母进行固定。 9. 安装顶起筒。转动控制杆进行固定。 备注 ) 1.请通过控制杆确认顶起筒是否被牢牢地固定了。 2.在没有筒的料槽上请安装盖罩。与筒一样，转动控制杆进行固定。 注意 请正确地安装，避免筒翘起，旋紧 螺母。筒翘起，则成为吸取不良或 故障 的原因。 ᅮԡ䫔 㶎↡ ῑ䚼 ㄦ 1676 01…
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
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g. 反向转动调整螺丝，定位块离开顶起销。
h. 用力转动螺母，固定顶起销。
7. 将筒夹安装到筒的底座上。使定位销对准底座的缺口然后插入筒夹，用螺母进行固定。
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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 205
8. 安装筒。使定位销对准槽口然后插入筒，用螺母进行固定。
9. 安装顶起筒。转动控制杆进行固定。
备注 )
1.请通过控制杆确认顶起筒是否被牢牢地固定了。
2.在没有筒的料槽上请安装盖罩。与筒一样，转动控制杆进行固定。
注意
请正确地安装，避免筒翘起，旋紧螺母。筒翘起，则成为吸取不良或故障
的原因。
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盖罩
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10.如果别的筒需要安装顶起销，请进行同样的作业。
11.请按下 OK 按钮，关闭侧面盖罩。
注意
请在安装了筒后，开始生产。如果筒被拆除，则成为多功能晶圆单元的误
动作和故障的原因。另外，在没有筒的料槽上请安装盖罩。