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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 207 7.11 元件补充 （料盘元件的安装） 需要安装料盘元件时， 在校正后显示料盘元件的安装向导。 请根据向导在多功能晶圆单元中 安装料盘元件。 7.11.1 料盘元件安装向导画面 01NST -0675S 1 2 3 4 5
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10.如果别的筒需要安装顶起销，请进行同样的作业。
11.请按下 OK 按钮，关闭侧面盖罩。
注意
请在安装了筒后，开始生产。如果筒被拆除，则成为多功能晶圆单元的误
动作和故障的原因。另外，在没有筒的料槽上请安装盖罩。
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多功能晶圆单元使用说明书 207
7.11 元件补充 （料盘元件的安装）
需要安装料盘元件时，在校正后显示料盘元件的安装向导。请根据向导在多功能晶圆单元中
安装料盘元件。
7.11.1 料盘元件安装向导画面
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7.11.2 料盘元件的安装步骤
请确认料盘元件安装向导。
1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。
2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LED 会亮灯。另外，对于在向导画面中所选择
的料槽，LED 会闪烁。
3. 请拿住捏手，抬起托架挡块。
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