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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 153 7.3 元件补充 （晶圆的安装） 需要安装晶圆时， 在校正后显示晶圆的安装向导。请根据向导 ， 向多功能晶圆单元补充晶 圆。 7.3.1 晶圆安装向导画面 01NST -0644S
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
152 多功能晶圆单元使用说明书
7.2 从菜单画面上选择换线项目
操作者也能够选择换线的项目来显示向导画面。
这时，请在 START 等待画面上按下 OK 按钮，切换到换线菜单画面。选择 CANCEL 图标时，则
返回到 START 等待画面。
7.2.1 换线菜单画面
备注 )背景为深灰色表示不能够选择的菜单。
执行换线的时候，请按下菜单图标。切换到各个换线画面。
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OK
CANCEL
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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 153
7.3 元件补充 （晶圆的安装）
需要安装晶圆时，在校正后显示晶圆的安装向导。请根据向导，向多功能晶圆单元补充晶
圆。
7.3.1 晶圆安装向导画面
01NST-0644S
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
154 多功能晶圆单元使用说明书
7.3.2 安装步骤
1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。
2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LED 会亮灯。另外，对于在向导画面中所选择
的料槽，LED 会闪烁。
3. 请拿住捏手，抬起托架挡块。
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01NST-0648S