多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第208页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 194 多功能晶圆单元使用说明书 7.7.2 卸下托架 有图表数据和无图表数据时的画 面显示和操作方法各不相同。 有图表数据时 1. 请打开正面门，卸下相应的托架。 2. 使用箭头按钮选择已取出的料槽。所选择 的料槽以绿色显示。 3. 按下 OK 按钮。 备注 )也可以在按下 OK 按钮后卸下托架。 通过以上的操作，相应料槽变成 未补充的状态，图表数据被删除。 无图表数据时 1. 请打开正面门…
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 193
7.7 卸下托架
在卸下被安装在多功能晶圆单元中的托架时所使用的指令。根据生产状况，在想要中止使用
晶圆时请执行该指令。
7.7.1 如何显示托架卸下画面
1. 请在操作面板处在开始等待的状态下请按下 OK 按钮。
2. 显示换线指令菜单。请选择托架卸下指令。
3. 之后，显示托架卸下画面。
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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
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7.7.2 卸下托架
有图表数据和无图表数据时的画面显示和操作方法各不相同。
有图表数据时
1. 请打开正面门，卸下相应的托架。
2. 使用箭头按钮选择已取出的料槽。所选择的料槽以绿色显示。
3. 按下 OK 按钮。
备注 )也可以在按下 OK 按钮后卸下托架。
通过以上的操作，相应料槽变成未补充的状态，图表数据被删除。
无图表数据时
1. 请打开正面门，卸下相应的托架。
2. 使用箭头按钮选择已取出的料槽。所选择的料槽以绿色显示。
3. 按下 OK 按钮。
备注 )也可以在按下 OK 按钮后卸下托架。
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OK
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OK
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多功能晶圆单元使用说明书 195
4. 显示图表信息删除的画面。请按下 OK 按钮。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，托架卸下指令就会被中止。
通过以上的操作，相应料槽变成未补充的状态，图表数据被删除。
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OK CANCEL