多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第185页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 171 根据范围指定的跳过晶片的设定 1. 点击图表影像后，就会显示图表影像。使 用图表的放大和滚动按钮，移动到 想要指定的 区域。 备注 )按下 CANCEL 按钮后，画面就会返回到跳过晶片设定的菜单。 2. 在图标影像中请点击要指定的范围的对角 上的晶片。 备注 )想要移动显示区域时， 请按下上下左右的滚动按钮 。切换滚动量后 ，移动速度就会 以 2 个等级发生变…
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
170 多功能晶圆单元使用说明书
7.5.2 指定跳过晶片
请选择外圈指定、范围指定或者个别指定的任意一个菜单，进入指定画面。
根据外圈指定的跳过晶片的设定
1. 按下画面左下方的按钮就会显示数字键盘。在数字键盘上输入从晶圆外圈开始的列数。
2. 输入列数后，按下数字键盘的 Enter 键，所输入的数值就会被决定。
3. 请按下 Complete 按钮。画面返回到跳过晶片指定的菜单。
备注 )按下 CANCEL 按钮，就会取消所指定的数值，并且画面返回到跳过晶片设定的菜单。
4. 请按下 Complete 按钮。设定内容被反映给机器。
CANCEL
Complete
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 171
根据范围指定的跳过晶片的设定
1. 点击图表影像后，就会显示图表影像。使用图表的放大和滚动按钮，移动到想要指定的
区域。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，画面就会返回到跳过晶片设定的菜单。
2. 在图标影像中请点击要指定的范围的对角上的晶片。
备注 )想要移动显示区域时，请按下上下左右的滚动按钮。切换滚动量后，移动速度就会以
2 个等级发生变化。
备注 )再次按下基点的晶片后，指定就会被解除。
备注 )在数字键盘上也能够输入指定范围的坐标。详细内容请参照下一页。
01NST-1020S
CANCEL
01NST-1021S
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
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3. 按下 Block Set 按钮，决定所指定的范围。此时，指定范围的颜色变成粉色。
备注 )如果要取消指定，请按下 Block Clear 按钮。
4. 完成所有的指定后，请按下 Complete 按钮。画面返回到跳过晶片指定的菜单。
5. 请按下 Complete 按钮。设定内容被反映给机器。
在数字键盘上进行指定时
1. 按下坐标显示栏的X或Y按钮，显示数字键盘。
备注 )如果被按下的按钮是 X 按钮，则 X 的输入为有效。
2. 请将跳过晶片的坐标输入到数字键盘中。按下 Enter 按钮后，所输入的数值就会被决
定。
3. 请指定 Range 1 和 Range2 双方的 XY 坐标。所指定的范围以橙色显示。
Complete
Block Set
Block Clear