多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第169页

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 155 4. 从要补充元件的料槽中拔出晶圆托架。如 果没有晶圆托架，则不需要该作业 。 5. 将晶圆安装到晶圆托架上。 备注 )根据晶圆托架的运用，安装方法也不同。请参照 "7.3.5 晶圆托架的运用 "。 6. 将晶圆托架安装到料盘箱的对象料槽上 。 注意 )在将晶圆托架安装到料盘箱内的时候，请放到最里面，并且不要受到冲击。 备注 )想要改变补充…