多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第58页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 44 多功能晶圆单元使用说明书 进行高度和倾斜调整的准备 1. 在工作头夹紧治具上安装千分表。 a. 用手将 NXT-2 的 Y 轴从靠住跟前侧挡块的状态向内侧返回 5mm。 注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。 b. 将安装了千分表的磁性平台安装到工作头 夹紧治具上。 c. 在顶起单元处在往复臂供应位置的状态下 ，安装磁性平台，并且使得千分表在 顶起…
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 43
7. 将基座的主电源开关设置为 ON，接通模组的电源。
8. 慢慢地将多功能晶圆单元插入模组内。
9. 如果模组、多功能晶圆单元的紧急停止按钮被按下了，请解除。然后按下模组操作面板
的 [POWER] 按钮。
备注 )虽然显示 [Safety Door] 的错误，请继续作业。
10.按下模组操作面板的 [READY ON] 按钮。多功能晶圆单元被夹紧。
11.请确认连接多功能晶圆单元与料站基座的接插件被完全连接。
12.确认多功能晶圆单元的前轮方向如下图所示，面向正面的状态。如果与下图的状态不
同，请将多功能晶圆单元退回到步骤 3 的位置，调整脚轮的方向重新插入。
注意 )多功能晶圆单元的滚轮部从料站基座上退回后，请进行再次调整。
POWER
READY ON
01NST-1981
EMERGENCY
01NST-0796Sd
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
44 多功能晶圆单元使用说明书
进行高度和倾斜调整的准备
1. 在工作头夹紧治具上安装千分表。
a. 用手将 NXT-2 的 Y 轴从靠住跟前侧挡块的状态向内侧返回 5mm。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
b. 将安装了千分表的磁性平台安装到工作头夹紧治具上。
c. 在顶起单元处在往复臂供应位置的状态下，安装磁性平台，并且使得千分表在顶起
调整治具上面。
备注 )顶起调整治具移动到往复臂供应位置的右侧和左侧，直接供应位置的右侧和左侧。请
安装磁性平台，并且使得千分表移动到这些位置也不会与模组或其他单元等相撞。
01NST-2002
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
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2. 将顶起调整治具的上面对准 Z0 高度。
a. 请清扫 Z0 高度治具和下图的治具设置场所。并且将 Z0 高度治具放置在模组内的设
置场所。
注意 )请注意 Z0 高度治具不要落入模组的孔内。另外，在设置了 Z0 高度治具的状态下，请
不要将顶起单元移动到直接供应位置。
b. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住 Z0 高度治具的高的一面，将刻度调整为 0。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
c. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，拆下 Z0 高度治具。
d. 将顶起单元移动到直接供应位置。然后，将顶起 X 轴部移动到顶起调整治具的中心
与导轨面的距离为 27mm ～ 30mm 的位置。
注意 )Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到中央，然后 Y 方向移动顶起单元。在
顶起 X 轴部处在左右端的状态下，Y 方向移动顶起单元时，单元的一部分有可能碰到壁
面。
e. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住顶起调整治具的上面。
f. 使用 2mm 宽度的六角扳手转动 EZ 轴滚珠丝杆，将顶起调整治具的上面调整到 Z0 高
度（千分表的0位置）。
注意 )转动 EZ 轴滚珠丝杆时，请不要过分用力慢慢地转动。另外，在调整了顶起调整治具高
度后，请不要接触顶起 Z 轴部。高度有可能改变。如果高度改变了，请再次调整到 Z0
高度。
01NST-1973
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01NST-1974S