多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第173页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 159 从晶圆图表文件列表中选择时 1. 安装了晶圆托架后，按下 OK 按钮就会显示晶圆图表指定画 面。 2. 显示晶圆图表文件列表。使用滚动按钮选 择晶圆图表文件。滚动显示中的列 表为被选择 的文件。 备注 )按下滚动按钮后，列表中的文件名就会滚动。存在滚动量不同的 2 种按钮，请区别使 用。 01NST -0663 01NST -0664 01NST -0665S
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158 多功能晶圆单元使用说明书
7.3.3 晶圆图表的指定
在 Job 中如果设定了使用晶圆图表，在安装晶圆托架后需要指定晶圆图表。请按照此处列举
的步骤，指定晶圆图表。
另外，指定晶圆图表时，使用条形码读取器时的操作方法和从图表列表中进行选择时的操作
方法不相同。
使用条形码读取器时
1. 安装了晶圆托架后，按下 OK 按钮就会显示晶圆图表指定画面。
2. 请扫描条形码。
3. 显示指定的晶圆图表文件。请按下 OK 按钮。
至此，完成晶圆图表的指定。之后，多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。
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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 159
从晶圆图表文件列表中选择时
1. 安装了晶圆托架后，按下 OK 按钮就会显示晶圆图表指定画面。
2. 显示晶圆图表文件列表。使用滚动按钮选择晶圆图表文件。滚动显示中的列表为被选择
的文件。
备注 )按下滚动按钮后，列表中的文件名就会滚动。存在滚动量不同的 2 种按钮，请区别使
用。
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3. 请按下 SELECT 按钮。所选择的图表文件被显示在 [Select Wafer Map File Nmae] 栏内。
4. 请按下 OK 按钮。确定晶圆图表。
至此，完成晶圆图表的指定。之后，多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。
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