多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第30页
3. 传感器配置图 I NS-NXTMWU-4.2S 16 多功能晶圆单元使用说明书 输出信号 9 NY023 供应部托架夹紧开启 图中号码 地址 信号名 1 NY008 料尽显 示字组 0bit NY009 料尽显示 字组 1bit NY00A 料尽显示 字组 2bit NY00B 料尽显示 字组 3bit NY00C 料尽显示 字组 4bit NY00D 料尽显 示锁定 NY00E 料尽显示 ON/OFF NY00F 料尽显 示闪烁…
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 15
输入信号
输出信号
图中号码 地址 信号名
1 NX005 除静电装置 1 正常
NX006 除静电装置 1 检查
图中号码 地址 信号名
2 NY001 除静电装置吹气
1 NY004 除静电装置 1 复位
NY005 除静电装置 1 放电停止
3 NY018 吸取工作头 1 下降
4 NY019 吸取工作头 2 下降
5 NY01A 吸取工作头 3 下降
6 NY01B 吸取工作头 4 下降
7 NY020 料盘箱托架夹紧解除
8 NY022 供应部托架夹紧解除
01NST-1515a
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9
3. 传感器配置图
I
NS-NXTMWU-4.2S
16 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
9 NY023 供应部托架夹紧开启
图中号码 地址 信号名
1 NY008 料尽显示字组 0bit
NY009 料尽显示字组 1bit
NY00A 料尽显示字组 2bit
NY00B 料尽显示字组 3bit
NY00C 料尽显示字组 4bit
NY00D 料尽显示锁定
NY00E 料尽显示 ON/OFF
NY00F 料尽显示闪烁
图中号码 地址 信号名
01NST-1517
1
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 17
3.4 PP 单元
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 NX010 吸取工作头 1 有元件确认 （交付前）
NX026 吸取工作头 1 有元件确认 （交付后）
2 NX011 吸取工作头 2 有元件确认 （交付前）
NX027 吸取工作头 2 有元件确认 （交付后）
3 NX012 吸取工作头 3 有元件确认 （交付前）
NX028 吸取工作头 3 有元件确认 （交付后）
4 NX013 吸取工作头 4 有元件确认 （交付前）
NX029 吸取工作头 4 有元件确认 （交付后）
5 NX014 吸取工作头有吸嘴确认 （流量传感器）
6 NX031 吸取工作头 1 上升端
7 NX032 吸取工作头 1 下降端
8 NX033 吸取工作头 2 上升端
9 NX034 吸取工作头 2 下降端
10 NX035 吸取工作头 3 上升端
11 NX036 吸取工作头 3 下降端
12 NX037 吸取工作头 4 上升端
13 NX038 吸取工作头 4 下降端
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