多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第240页
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S 226 多功能晶圆单元使用说明书 6. 显示晶片的影像。请按下滚动按钮，使十 字线 （相机中心）对准晶片的中心。 备注 )[Reference Pos] 只是在参考晶片为对象时显示。 7. 按 下 NEXT 按 钮。 备注 )按下 [BACK] 按钮后，就会返回到 3 项的画面。另外，按下 [CANCEL] 按钮后，则返回 到 2 项的画面。 8. 显示影像处理的结果。 a. 直接供应…
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 225
3. 按下 OK 按钮。
4. 选择对象的晶片。
a. 按下从 [Product Die] 到 [RefDie4] 的任意一个按钮。
b. 必要时，能够变更挡板速度。（1 msec 单位）
5. 请选择 START 按钮。
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01NST-1495
01NST-1496
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
226 多功能晶圆单元使用说明书
6. 显示晶片的影像。请按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中心。
备注 )[Reference Pos] 只是在参考晶片为对象时显示。
7. 按下 NEXT 按钮。
备注 )按下 [BACK] 按钮后，就会返回到 3 项的画面。另外，按下 [CANCEL] 按钮后，则返回
到 2 项的画面。
8. 显示影像处理的结果。
a. 直接供应模式时
备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。
01NST-1497
Reference Pos
01NST-1498
CANCEL BACK
01NST-1499
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 227
b. 往复臂供应模式时
9. 将处理的影像输出到外部的时候，此处请结束指令。另外，如果要变更进行摄像的晶片
或改变快门速度取得影像时，请从 3. 项重新开始。
10.通过辅助软件取得影像。
a. 请从 [Data Acquisition] 的项目中选择 [Image Acquisition]。
b. 请选择模组，然后按下 [Start] 按钮。显示影像列表信息。显示影像列表信息。
c. 按下 [Save] 按钮，取得对象的影像。
备注 )此时，在影像列表中因为被显示了快门速度，建议在文件名中输入快门速度。
至此，完成影像的取得。在按照所取得的影像创建外形数据后，将 Job 传输给机器。
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