多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第329页
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件 多功能晶圆单元使用说明书 315 侧面盖罩 （右侧后方） 1. 请拆下螺丝，拆下背面盖罩 （右侧后方） 。 备注 ) 如果是没有右侧维修保养门的背面盖罩，通过 7 个螺丝被固定。 侧面盖罩 （右侧） 1. 请打开正面门。 2. 打开维修保养门。拆下螺栓，拆下门上的 安全开关。 3. 拆下螺丝然后拆下侧面盖罩 （右侧） 。 4. 安装盖罩时，调整位置安装安全开关，使 得维修保养门的安全开关…
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
314 多功能晶圆单元使用说明书
正面盖罩 （下方）
1. 请打开抽屉。
2. 请拆下螺丝。
正面盖罩 （中央）
1. 请拆下正面盖罩 （下方）。（详细请参照 [ 正面盖罩 （下方）]。）
2. 请打开正面门。
3. 拆下螺丝，拆下间隙盖罩。
4. 拆下螺丝，拉出正面盖罩。
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INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 315
侧面盖罩 （右侧后方）
1. 请拆下螺丝，拆下背面盖罩 （右侧后方）。
备注 ) 如果是没有右侧维修保养门的背面盖罩，通过 7 个螺丝被固定。
侧面盖罩 （右侧）
1. 请打开正面门。
2. 打开维修保养门。拆下螺栓，拆下门上的安全开关。
3. 拆下螺丝然后拆下侧面盖罩 （右侧）。
4. 安装盖罩时，调整位置安装安全开关，使得维修保养门的安全开关能够锁定正面门的
锁。
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12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
316 多功能晶圆单元使用说明书
侧面盖罩 （右侧下方）
1. 请拆下正面盖罩 （下方）。（详细请参照 [ 正面盖罩 （下方）]。）
2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （右侧下方）。
操作面板盖罩
1. 请拆下螺丝，然后拆下操作面板罩。
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