多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第309页
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品 多功能晶圆单元使用说明书 295 8. 伺服放大器的前面有电池盒。请参考电缆 的线号，打开发出警报的伺服放大 器的电池 盒，更换成新电池。 9. 将板、真空泵、电源插头和空气管返回到 原来的状态。 10.将真空泵的电源开 关设置为 O N。错误被解除。 11.安装正面盖罩 （下部） 。 轴线 号 轴线 号 TZ RH4539* PZ RH4766* TY RH6991* EX RH47…
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
294 多功能晶圆单元使用说明书
TZ 轴、TY 轴、PX 轴、PZ 轴、PX 轴伺服放大器时
1. 将多功能晶圆单元安装到模组上，接通多功能晶圆单元的电源。
2. 拆下螺丝，拆下正面盖罩 （下部）。详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。
3. 将真空泵左侧面的电源开关设置为 OFF。
备注 )将真空泵电源设置为 OFF 后，虽然会发生错误，请继续作业。
4. 拔下真空泵的电源插头和空气管。
5. 等待真空泵的表面温度下降到室温。
6. 拆下拆下螺栓，从支架上拆下真空泵。
7. 拆下螺丝，拆下板。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认泵冷却后进行作业。刚停止运转
后，泵内部温度很高会造成烫伤。
01NST-2016
ON
OFF
01NST-2017
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 295
8. 伺服放大器的前面有电池盒。请参考电缆的线号，打开发出警报的伺服放大器的电池
盒，更换成新电池。
9. 将板、真空泵、电源插头和空气管返回到原来的状态。
10.将真空泵的电源开关设置为 ON。错误被解除。
11.安装正面盖罩 （下部）。
轴线号 轴线号
TZ RH4539* PZ RH4766*
TY RH6991* EX RH4798*
PX RH5949*
01NST-2018S
EX
䕈
PZ
䕈
PX
䕈
TY
䕈
TZ
䕈
