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INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产 多功能晶圆单元使用说明书 137 7. 请按下画面上的 OK 按钮。 8. 显示晶圆图表指定画面。请指定晶圆图表 。 （"7.3.3 晶圆图表的指定 "。 ） 备注 )该操作只是在 Job 中设定了使用晶圆图表时才需要。 9. 在向导画面上显示了以下示意图的时候 ，通过按下箭头按钮，显示各自的指 定画面。必 要时请指定。 a. 右箭头按钮：指定跳过晶片 （参照 "…
6. 生产
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NS-NXTMWU-4.2S
136 多功能晶圆单元使用说明书
4. 从要补充元件的料槽中拔出晶圆托架。
5. 将晶圆安装在晶圆托架上。
6. 将晶圆托架安装到料盘箱的对象料槽中。
注意 )在将晶圆托架安装到料盘向箱内的时候，请轻轻地插入，以免受到冲击。
备注 )想要改变补充料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键 （上下）变更料槽。
