多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第49页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 35 治具 顶起调整 治具 2ADLWJ00120 * 1 附属品 工作头夹紧治具 AA18T** 1 附属品 Z0 高度治 具 PM2047* 1 选购件 也可以使用 PM3629* 的 Z0 高度治具。使用时，将千 分表靠住最高的部分。 测定器 水平仪 2 推荐分辨率：0.1mm /m 纵横尺寸： 100x40mm 以 下 千分表 1 分辨率 2um 测定范围 0…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
34 多功能晶圆单元使用说明书
4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜
此作业请在以下的情况下进行。另外，在进行了高度和倾斜的调整后，请务必进行吸取高度
修正测定。（详细内容请参照 "4.5 吸取高度修正测定 "。）
备注 )在模组、地面的状态等与调整时同样的条件下使用时，不需要调整。
·新安装多功能晶圆单元时
·将多功能晶圆单元安装到别的模组上时
·因生产线的移动等，地面的状态发生变化时
·多功能晶圆单元的高度发生了变化时
4.4.1 准备物品
开始作业之前，请确认以下的物品已经准备好了。
备注 )Z0 高度治具为选购件。是否购买，请与本公司或本公司代理店联络。
分类 名称 数量 备注
一般工具 六角扳手一套 -
扳手一套 -
十字螺丝刀 1
测隙规 （厚薄规） 1 厚度 0.5mm
特殊工具 扳手 2MDLWJ0129** 1 附属品
36mm 宽度扳手 （固定用）
前端厚度 9mm
扳手 S3019F 1 附属品
36mm 宽度扳手 （调整用）
前端厚度 14.5mm
六角扳手 （短型） 1 附属品
5mm 宽度
治具 高度调整用手柄 1 附属品
01NST-1905
01NST-1904
01NST-1906
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 35
治具 顶起调整治具 2ADLWJ00120* 1 附属品
工作头夹紧治具 AA18T** 1 附属品
Z0 高度治具 PM2047* 1 选购件
也可以使用 PM3629* 的 Z0
高度治具。使用时，将千
分表靠住最高的部分。
测定器 水平仪 2 推荐分辨率：0.1mm/m
纵横尺寸：
100x40mm 以下
千分表 1 分辨率 2um
测定范围 0.6mm
磁性平台 1
01NST-1907
01NST-1908
01NST-1909
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36 多功能晶圆单元使用说明书
4.4.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项
作业中，存在使用 NXT-2 的 XY 机械手的作业。此时，请注意以下的事项。
警告
模组运转后，请不要马上直接接触模组的线性马达轴和线圈。有可能烫
伤。
模组的线性马达会发生强磁场。使用心脏起搏器的人员，请不要靠近的 Y
轴的线性马达附近 （请离开 400 mm 以上）。受磁场影响有可能造成心脏起
搏器误动作。
注意
手动移动 XY 机械手时，请握住框架部。请握住贴装工作头本体或手柄等，
不要对工作头施加力。
请不要压住 X 轴盖罩。盖罩有可能变形。
在模组的线性马达附近 （55 mm 以内）进行作业时，请不要使用通常的工
具。请使用非磁性工具。
请不要使磁卡、手表、精密仪器等靠近模组的线性马达附近 （55 mm 以
内）。有可能受磁场影响出现故障。
更换工作头和维修保养作业时，物品不要撞击线性标尺，使其损伤。如果
线性标尺损伤，就会发生错误，有可能不能生产。此时，需要更换线性标
尺。