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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 215 7.13 料站类型更换向导 模组中如果多功能晶圆单元没有被安装着 ，就 会在模组侧的操作面板上显示料站类型更换 向导。 请在该模组中安装多功能晶圆单 元。详细内容请参照 "9. 多功能晶圆单元的卸下 和安装 "。