多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第168页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 154 多功能晶圆单元使用说明书 7.3.2 安装步骤 1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。 2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LE D 会亮灯。另外，对于在向导画面中所选择 的料槽，LED 会闪烁。 3. 请拿住捏手，抬起托架挡块。 01INST -0646S 01NST -0648S
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 153
7.3 元件补充 （晶圆的安装）
需要安装晶圆时，在校正后显示晶圆的安装向导。请根据向导，向多功能晶圆单元补充晶
圆。
7.3.1 晶圆安装向导画面
01NST-0644S
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
154 多功能晶圆单元使用说明书
7.3.2 安装步骤
1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。
2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LED 会亮灯。另外，对于在向导画面中所选择
的料槽，LED 会闪烁。
3. 请拿住捏手，抬起托架挡块。
01INST-0646S
01NST-0648S
