多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第114页
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S 100 多功能晶圆单元使用说明书 6. 对象模组和多功能晶圆单元的操作换面切 换到各自的测试模式。 执行影像处理测试 1. 请使用箭头按钮，选择进行影像处理的安 装了晶圆的料槽。 2. 按下 OK 按钮。 01NST -1391
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 99
5.6.2 吸取测试
对于没有生产实绩的晶片，如果不调整以下的设定，有可能无法吸取。
·顶起销的顶起高度
·顶起速度
·晶片吸取时的下降端时间
因此，请进行吸取测试，确认实际的吸取状态。
启动测试模式
1. 请启动 MEdit。
2. 打开机器内的 Job。
a. 从文件菜单中选择 [Open Current Job]。
b. 从生产线列表中选择对象模组。必要时也请选择通道。
c. 点击 [OK]。显示 Job 数据。
3. 请确认机器的操作面板显示了开始等待画面。
4. 从 [MWU Test] 中，执行 [MWU Pickup Check]。
备注 )如果显示错误向导，机器处在不能执行测试的状态。请显示错误内容，解决问题。
5. 显示多功能晶圆单元的操作向导。
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5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
100 多功能晶圆单元使用说明书
6. 对象模组和多功能晶圆单元的操作换面切换到各自的测试模式。
执行影像处理测试
1. 请使用箭头按钮，选择进行影像处理的安装了晶圆的料槽。
2. 按下 OK 按钮。
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INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 101
3. 显示吸取数据编辑画面。请变更晶片吸取所需的数据。
备注 )关于指定数值的项目，按下项目名就会显示数值键盘。请输入数值，然后按下 Enter。
a. Push Up Para Mode：Manual 时
备注 )能够变更顶起动作的设定。
b. Push Up Para Mode：Auto 时
备注 )顶起动作的设定变成 [ColletSpec] 的推荐值。
项目名 值 说明
[Pressure Pin]
Push Up Para
Mode
(Auto/Manual) 指定顶起参数的设定方法
如果指定了 [Auto]，以下只显示 [Push Up
Wait Time]。
Push Up Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定顶起销上升后的停止时间
(单位ms)
Push Up Height (0.0 ～ 1.5) 设定顶起销的晶片顶起高度
Speed Change
Height
(0.0 ～ ) 设定切换顶起参数的高度
[Pick]
Pickup Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定晶片吸取时在下降端的停止时间 ( 单位
ms)
Offset X (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 X 方向修正值
(单位mm)
Offset Y (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Y 方向修正值
(单位mm)
[Speed Change Height]
[Speed Change Height]
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