多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第22页
2. 各部分的名称和功能 INS-NXTMWU-4.2S 8 多功能晶圆单元使用说明书 2.2 吸嘴置放台 使用多功能晶圆单元时， 需要对应多功能晶圆单元的吸嘴置放台 。 请将符合贴装工作 头的对 应多功能晶圆单元的吸嘴置放台 安装在吸嘴更换器上使用。 <ND32D> 01NST -0692S <NK12A> <NCGW A>
INS-NXTMWU-4.2S 2. 各部分的名称和功能
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2.1.2 顶起筒
顶起筒被安装在顶起单元中，存在小尺寸晶片用和正方形晶片用 2 种类型。请对照所使用晶
圆的晶片尺寸进行选择。小尺寸晶片用时可以在中心安装 1 个顶起销，大尺寸或中尺寸晶片
用时在中心和周围安装多个顶起销。
2.1.3 晶圆托架
多功能晶圆单元是将晶圆安装在托架上进行供应。根据晶圆是否带夹环，所使用的托架不相
同。请使用符合晶圆条件的托架。
·夹环对应托架
·手动拉伸托架 （选购件）
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2. 各部分的名称和功能 INS-NXTMWU-4.2S
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2.2 吸嘴置放台
使用多功能晶圆单元时，需要对应多功能晶圆单元的吸嘴置放台。请将符合贴装工作头的对
应多功能晶圆单元的吸嘴置放台安装在吸嘴更换器上使用。
<ND32D>
01NST-0692S
<NK12A>
<NCGWA>
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
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3. 传感器配置图
以下说明多功能晶圆单元中所使用的各种传感器的配置和 I/O （输入输出信号）显示的读
法。
注意 )根据机器的状态，如果进行 I/O 的输出操作，机器有可能损坏。输出操作请在本公司
和代理店售后服务人员的指示下进行。
3.1 I/O 的确认方法
确认传感器的 I/O（输入输出信号）时，需要软件工具 [Equipment Check]。启动 [Equipment
Check] 后就会显示以下的画面，请选择单元进行 I/O 的确认。
备注 )关于 [Equipment Check] 的详细说明，请参照 [NXT II 系统手册 ] 的 [NXT-2 软件工具
] 的 [Equipment Check]。
在以下的插图和表格中，表示传感器 （图中号码）和地址的关系。
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