多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第14页
目录 INS-NXTMWU-4.2S viii 多功能晶圆单元使用说明书 12.2.2 准备作业 ............................... 319 12.2.3 更换方法 ............................... 319 12.2.4 更换后的各种设定 ....................... 321
INS-NXTMWU-4.2S 目录
多功能晶圆单元使用说明书 vii
11. 更换损耗品.............................. 293
11.1 关于损耗品 ........................... 293
11.2 更换伺服放大器电池 ................... 293
11.2.1 更换周期 ............................... 293
11.2.2 必要工具 ............................... 293
11.2.3 更换方法 ............................... 293
11.3 更换 CPU 箱电池 ....................... 297
11.3.1 电池的种类 ............................. 297
11.3.2 更换周期 ............................... 297
11.3.3 必要的物品 ............................. 297
11.3.4 准备作业 ............................... 297
11.3.5 更换方法 ............................... 298
11.3.6 登录固有值 ............................. 300
11.4 更换控制电路板熔丝 ................... 301
11.4.1 必要工具 ............................... 301
11.4.2 更换方法 ............................... 301
11.5 更换托架电路板熔丝 ................... 303
11.5.1 必要工具 ............................... 303
11.5.2 更换方法 ............................... 303
11.6 更换远程控制 I/O 电路板熔丝 ........... 304
11.6.1 必要工具 ............................... 304
11.6.2 更换方法 ............................... 304
11.7 更换真空泵损耗部件 ................... 306
11.7.1 更换周期 ............................... 306
11.7.2 准备物品 ............................... 306
11.7.3 更换方法 ............................... 307
12. 更换部件............................... 311
12.1 拆下盖罩 ............................. 311
12.1.1 盖罩构成部件 ........................... 311
12.1.2 必要工具 ............................... 312
12.1.3 拆下方法 ............................... 312
12.2 更换 CPU 箱 ........................... 319
12.2.1 必要的物品 ............................. 319
INS-NXTMWU-4.2S 1. 安全指南
多功能晶圆单元使用说明书 1
1. 安全指南
本公司是在充分重视安全性的前提下进行机器的设计和制造的。然而，即使机器的设计和制
造是万无一失的，如果不按照安全规则运转机器或进行维修保养操作，仍有可能造成机器的
损坏甚至引发人身伤亡事故，这是十分危险的。为了防止此类事故的发生，担任机器操作和
维修保养的人员在使用机器时，必须严格遵守安全规则。
请仔细阅读此记载了安全规则的 [ 安全指南 ]，正确使用产品。
1.1 标记的读法
在此「安全指南」中，记载了用户在操作机器和进行维修保养作业时应该遵守的注意事项。
另外、在产品的警告标签上也记载了提醒用户注意的说明事项。
在本手册及产品上的警告标签的注意事项中使用了危险度的定义 ( 危险度的大小 ) 以及图标
记号。以下是有关这些内容的说明，请在充分理解说明的基础上阅读正文。
1.1.1 危险度的定义
1.1.2 图标记号示例
表示 定义 （危险度的大小）
表示在不遵守规则的情况下，将导致死亡或重伤等人身事故的注意
事项。
表示在不遵守规则的情况下，将有可能导致死亡或重伤等人身事故
的注意事项。
表示在不遵守规则的情况下，将导致轻伤或中度人身事故并有可能
损坏机器及设备的注意事项。
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表示 图标记号的含义
表示引起警告和注意的事项。具体的警告内容表示在标记内部。 (
左图的示例表示小心触电。)
表示禁止行为。具体的警告内容表示在标记内部。( 左图的示例表
示禁止接触。)
表示必须绝对遵守的内容。