多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第64页

4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 50 多功能晶圆单元使用说明书 3. 使用 36mm 宽度扳手，预紧固前侧脚轮的固定螺母。使用调整用扳手（S3019F ）固定至调整螺栓不会转动为止，同时使用固定用扳手（2MDLWJ0129**）紧固固定螺母。 4. 预紧固中间脚轮的固定螺栓。 01NST -1980S 䇗ᭈ⫼ᡇ᠟ ೎ᅮ⫼ᡇ᠟ 01NST -1979

INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装

多功能晶圆单元使用说明书 49

d. 一边通过千分表确认顶起调整治具的高度，一边使用前侧脚轮和中间脚轮的调整螺

栓、高度调整手柄，调整到往复臂供应位置的左右测定值在公差值以内。

备注 )一边确认一边调整，保证塔基座部的水平仪的数值在公差值（±0.1mm/m）以内。

·调整 X 方向的倾斜时，使用前侧脚轮（2 处）和中间脚轮（2 处）的调整螺栓，

调整倾斜。

备注 )X 方向调整时，左或右的前侧脚轮和中间脚轮的变更量基本上相同，这样容易得到水

平。

·如果往复臂供应位置全部接近直接供应位置的中间值，只要按照相同量变更 4 个

脚轮的高度，或者转动高度调整手柄。

备注 )高度调整手柄在大幅度变更 Y 方向的倾斜时使用，脚轮在微调整时使用。

e. 再次进行直接供应位置处的测定。并且算出左右测定值之差和中间值，确认 4 点的

测定值在公差值以内。反复这些调整，测定值在公差值以内。

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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S

50 多功能晶圆单元使用说明书

3. 使用 36mm 宽度扳手，预紧固前侧脚轮的固定螺母。使用调整用扳手（S3019F）固定至

调整螺栓不会转动为止，同时使用固定用扳手（2MDLWJ0129**）紧固固定螺母。

4. 预紧固中间脚轮的固定螺栓。

01NST-1980S

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01NST-1979

INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装

多功能晶圆单元使用说明书 51

5. 将多功能晶圆单元拉出一半，再次夹紧到模组上。

a. 持续按住模组操作面板的 [POWER] 按钮，将模组变成睡眠状态。

b. 拉出多功能晶圆单元，直到多功能晶圆单元的料站托架部的端面与模组端面在同一

位置。

注意 )如果多功能晶圆单元的滚轮部脱离了料站基座，请从 " 将多功能晶圆单元夹紧到模组

上。" 开始重新调整。

c. 注意前侧脚轮笔直向前，同时将多功能晶圆单元慢慢地插入模组内。

d. 按下模组操作面板的 [POWER] 按钮。

备注 )虽然显示 [Safety Door] 的错误，请继续作业

e. 按下模组操作面板的 [READY ON] 按钮。多功能晶圆单元被夹紧。

6. 确认晶圆供应部 4 的顶起调整治具的高度和塔基座部的水平仪的水平度。如果这些数值

超出公差值，请从步骤 1 开始重新调整。

备注 )顶起调整治具高度的公差值请参照步骤 2。另外，塔基座水平仪的公差值为 ±0.1mm/m

以内。

01NST-1971S

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