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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 252 多功能晶圆单元使用说明书 *3：每吸取 150,0 00 次，或者吸取异常时 *4：操作面板的显示灯 （绿色）熄灯 ，或者显示灯 （橙色）亮灯时时 *5：升降部的动作过重等 异常时 塔 部 T Z 轴 滚 珠 丝 杆 ------★ -1 0 T Z 轴 皮 带 张 力 ------■ -1 0 升 降 部 齿 轮 -------★ *5 10 防静电装置放电针 - ● - - …
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 251
10.2.2 维修保养人员进行的作业
维修保养项目
（●：清扫，★：加油，■：点检，▲：更换）
每周
(160H)
每2周
(320H)
每月
(700H)
每3个月
(2,000H)
每6个月
(4,000H)
每年
(8,000H)
每12,000
小时
不定期
作业时间
(分）
料站台 料槽、接插件 ● - - - ----1
PP单元 真空过滤器 --▲-----5
吸嘴吸取面 --▲-----5
PP相机的盖罩玻璃 --●-----5
吸嘴夹紧销 ---▲----20
PP相机的半透半反光镜 -----●--5
PX轴滚珠丝杆 ------★-10
PX轴导轨 ------★-10
PZ轴滚珠丝杆 ------★-10
PX轴皮带张力 ------■-10
吸嘴 -------●
*3
1
托架往复臂 往复臂皮带 - - ●
★
-----5
10
TY轴导轨 ------★-10
托架夹头部导轨 ------★-10
TY轴皮带张力(往复臂部) ------■-10
TY轴皮带张力(驱动部) ------■-10
晶片往复臂吸嘴的真空过滤器 --▲-----5
SY轴导轨 ------★-10
SY轴皮带张力 ------■-10
吸嘴 -------●
*3
1
顶起单元 真空过滤器 --▲-----5
EZ轴滚珠丝杆 --★-----10
顶起筒的凸缘 ----▲---5
EX轴滚珠丝杆 ------★-10
驱动凸轮 ------★-10
EX轴导轨 ------★-10
EY轴导轨 ------★-10
EZ轴导轨 ------★-10
EX轴皮带张力 ------■-10
EZ轴皮带张力 ------■-10
翻转单元 吸嘴的真空过滤器 --▲-----5
翻转部齿轮 ------★-10
吸嘴 -------●
*3
1
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
252 多功能晶圆单元使用说明书
*3：每吸取 150,000 次，或者吸取异常时
*4：操作面板的显示灯 （绿色）熄灯，或者显示灯 （橙色）亮灯时时
*5：升降部的动作过重等异常时
塔部 TZ轴滚珠丝杆 ------★-10
TZ轴皮带张力 ------■-10
升降部 齿轮 -------★
*5
10
防静电装置放电针 - ● - - - ▲ - ●
*4
10
维修保养项目
（●：清扫，★：加油，■：点检，▲：更换）
每周
(160H)
每2周
(320H)
每月
(700H)
每3个月
(2,000H)
每6个月
(4,000H)
每年
(8,000H)
每12,000
小时
不定期
作业时间
(分）
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多功能晶圆单元使用说明书 253
10.3 每天 （24 小时以内）的作业
10.3.1 清扫多功能晶圆单元用废料带箱 （每 8 个小时）
1. 将废料带箱拉到跟前然后拆下。
2. 用剪刀剪下从料带供料器处垂下的表面薄膜。
3. 请除去积存在废料带箱内的废料带。
4. 将废料带箱返回到基座内。
10.3.2 清扫元件排出箱 （每 24 个小时）
元件排出箱 （托架往复臂旁边）
1. 请打开模组侧面盖罩。
2. 向上拉出元件排出箱。
01NST-0706c