多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第35页
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图 多功能晶圆单元使用说明书 21 3.7 顶起单元 输入信号 9 NY040 翻转 1 吸取 10 NY041 翻 转 2 吸取 11 NY042 翻 转 3 吸取 12 NY043 翻 转 4 吸取 13 NY044 翻 转 1 真空破 坏 14 NY045 翻 转 2 真空破 坏 15 NY046 翻 转 3 真空破 坏 16 NY047 翻 转 4 真空破 坏 图中号码 地址 信号…
3. 传感器配置图
I
NS-NXTMWU-4.2S
20 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
13 NX025 往复臂夹头关闭端
14 NX02E 往复臂后退端
15 NX044 翻转上升端
16 NX045 翻转下降端
17 NX046 翻转交付位置
18 NX047 翻转接收位置
19 NX04F 废弃刷上升端
20 NX030 废弃箱安装确认
21 DX008 空气压确认
22 DX009 真空压确认
图中号码 地址 信号名
1 NY036 晶片往复臂 1 吸取
2 NY037 晶片往复臂 2 吸取
3 NY038 晶片往复臂 3 吸取
4 NY039 晶片往复臂 4 吸取
5 NY03A 晶片往复臂 1 真空破坏
6 NY03B 晶片往复臂 2 真空破坏
7 NY03C 晶片往复臂 3 真空破坏
8 NY03C 晶片往复臂 4 真空破坏
图中号码 地址 信号名
01NST-1516
1
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INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 21
3.7 顶起单元
输入信号
9 NY040 翻转 1 吸取
10 NY041 翻转 2 吸取
11 NY042 翻转 3 吸取
12 NY043 翻转 4 吸取
13 NY044 翻转 1 真空破坏
14 NY045 翻转 2 真空破坏
15 NY046 翻转 3 真空破坏
16 NY047 翻转 4 真空破坏
图中号码 地址 信号名
图中号码 地址 信号名
1 NX02F 顶起料带吸取确认 （直接搬运）
NX03F 顶起料带吸取确认 （往复臂搬运）
2 NX039 顶起销驱动汽缸后退端
3 NX03A 顶起销确认 BIT 1
4 NX03B 顶起销确认 BIT 2
5 NX03C 顶起销切换确认
6 NX03D 顶起销驱动汽缸前进端
7 NX04D 顶起 Y 轴机械手汽缸前进端
8 NX04E 顶起 Y 轴机械手汽缸后退端
01NST-0703b
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3. 传感器配置图
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NS-NXTMWU-4.2S
22 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
3.8 元件排出搬运轨道
9 NX040 顶起 Y 轴机械手汽缸 READY
NX041 顶起 Y 轴机械手汽缸定位完成信号 1
NX042 顶起 Y 轴机械手汽缸定位完成信号 2
NX043 顶起 Y 轴机械手汽缸 ALM
图中号码 地址 信号名
9 NY030 顶起 Y 轴机械手汽缸驱动指令 1
NY031 顶起 Y 轴机械手汽缸驱动指令 2
NY032 顶起 Y 轴机械手汽缸紧急停止输出
10 NY034 顶起销料带吸取
11 NY035 顶起销料带真空破坏
图中号码 地址 信号名
01NST-1518a
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