多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第162页
6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 148 多功能晶圆单元使用说明书 6.7.2 补充步骤 1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。 2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LE D 会亮灯。另外，对于向导画面中所选择的 料槽，LED 会闪烁。 3. 请拿住捏手，提起托架挡块。 01INST -0646S 01NST -0648S
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6.7 补充料盘元件
运转中当发生料尽时，在多功能晶圆单元的画面上就会显示元件补充向导。请根据向导对多
功能晶圆单元补充元件。
6.7.1 元件补充向导画面
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NS-NXTMWU-4.2S
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6.7.2 补充步骤
1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。
2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LED 会亮灯。另外，对于向导画面中所选择的
料槽，LED 会闪烁。
3. 请拿住捏手，提起托架挡块。
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4. 从要补充的料槽中拔出托架。
5. 将料盘安装到料盘托架上。
6. 将料盘托架安装到料盘箱的对象料槽中。
注意 )在将料盘托架安装到料盘箱内的时候，请不要有冲击并放置到最里面。
备注 )想要改变补充料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键 （上下）来变更料槽。
7. 如果需要进行吸取开始点指定时，请按下箭头键 （向右）。
备注 )关于吸取开始点指定画面上的详细操作，请参照 "7.11.3 指定吸取开始点 "。
8. 请按下画面上的 OK 按钮。
9. 如果有其他料槽的料盘安装向导，请重复 4. 项～ 8. 项。
10.完成所有的补充后，SUPPLY COPLT 按钮就会闪烁。
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