多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第116页
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S 102 多功能晶圆单元使用说明书 4. 请按下 START 按钮。多功能晶圆单元以被变更 的数据值开始吸取动作。 备注 )如果对象料槽的吸取开始点没有被指定，机器进行异常停止。 5. 显示晶片位置对准画面。请指定进行吸取 测试的晶片。 a. 在影像图表中，选择进行吸取测试的晶片 。 b. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中 心。 备注 )按下 CANCEL 按钮就…
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 101
3. 显示吸取数据编辑画面。请变更晶片吸取所需的数据。
备注 )关于指定数值的项目，按下项目名就会显示数值键盘。请输入数值，然后按下 Enter。
a. Push Up Para Mode：Manual 时
备注 )能够变更顶起动作的设定。
b. Push Up Para Mode：Auto 时
备注 )顶起动作的设定变成 [ColletSpec] 的推荐值。
项目名 值 说明
[Pressure Pin]
Push Up Para
Mode
(Auto/Manual) 指定顶起参数的设定方法
如果指定了 [Auto]，以下只显示 [Push Up
Wait Time]。
Push Up Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定顶起销上升后的停止时间
(单位ms)
Push Up Height (0.0 ～ 1.5) 设定顶起销的晶片顶起高度
Speed Change
Height
(0.0 ～ ) 设定切换顶起参数的高度
[Pick]
Pickup Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定晶片吸取时在下降端的停止时间 ( 单位
ms)
Offset X (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 X 方向修正值
(单位mm)
Offset Y (-1.50 ～ 1.50) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Y 方向修正值
(单位mm)
[Speed Change Height]
[Speed Change Height]
01NST-1622
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
102 多功能晶圆单元使用说明书
4. 请按下 START 按钮。多功能晶圆单元以被变更的数据值开始吸取动作。
备注 )如果对象料槽的吸取开始点没有被指定，机器进行异常停止。
5. 显示晶片位置对准画面。请指定进行吸取测试的晶片。
a. 在影像图表中，选择进行吸取测试的晶片。
b. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中心。
备注 )按下 CANCEL 按钮就会返回到料槽选择画面。按下 BACK 按钮，则返回到前项的画面。
Offset Z (-2.00 ～ 2.00) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Z 方向修正值
(单位mm)
(*) 设定了 Offset X、Y、Z 后，对照吸取位置的修正，顶起销的顶起位置也进行修
正。
[Collet]
设定顶起销被安装的 4 个筒夹的类型。
(*) 所选择的筒夹类型以蓝色被翻转显示。
项目名 值 说明
BACK NEXTCANCEL
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多功能晶圆单元使用说明书 103
6. 请按下 NEXT 按钮。多功能晶圆单元按照被编辑的数据开始吸取测试。
备注 )根据运转模式，吸取动作有所不同。
7. 显示吸取测试的结果。请确认吸取状态。
a. 直接供应模式时
备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。
b. 往复臂供应模式时
直接供应模式 使用 NXT 侧相机对吸取的晶片进行影像处理。其结果显
示在 NXT 操作画面上。
使用 NXT 侧相机对吸取晶片的痕迹进行影像处理。其结
果显示在 NXT 操作画面上。
往复臂供应模式 使用 NXT 侧相机对吸取的晶片进行影像处理。其结果显
示在 NXT 操作画面上。
使用 PP 单元的相机对吸取晶片的痕迹进行影像处理。其
结果显示在 MWU 操作画面上。