多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第177页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 163 在手动拉伸托架上的安装请按照 以下的步骤。 1. 从托架基座上取下全部旋钮。 2. 安装垫片。 3. 安装带框架的晶圆，并且靠住托架基座的 定位销。 01NST -1992S ᠬᶊᑻ ᮟ䪂 01NST -1993S ൿ⠛ 01NST -1994S ᅮԡ䫔
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
162 多功能晶圆单元使用说明书
7.3.5 晶圆托架的运用
供应晶圆时，使用专用的托架。晶圆托架的运用方法根据托架的种类和安装方法的不同，按
照以下进行分类。
·夹环对应托架
·手动拉伸托架
安装到晶圆托架上的方法，请参考此处列举的插图。
夹紧环对应托架
手动拉伸托架
01NST-1486S
01NST-1488S
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 163
在手动拉伸托架上的安装请按照以下的步骤。
1. 从托架基座上取下全部旋钮。
2. 安装垫片。
3. 安装带框架的晶圆，并且靠住托架基座的定位销。
01NST-1992S
ᠬᶊᑻ
ᮟ䪂
01NST-1993S
ൿ⠛
01NST-1994S
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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
164 多功能晶圆单元使用说明书
4. 安装了晶圆压板后，使用旋钮进行固定。此时，平均紧固 8 处。对角上的旋钮为一组，
按照图的顺序进行紧固。
01NST-1995S
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