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6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 140 多功能晶圆单元使用说明书 2. 请调整参考晶片的位置。 a. 如果要通过晶圆图表修正参考位置时，请 进行以下的操作。 · 请按下上下左右的滚动按钮 ，移动到想要 指定的晶片的位置 ， 然后点击对象晶 片。 备注 )被点击的晶片变成新的参考晶片。 ·按下 Refe rence Check 按钮。相机移动到 所指定的位置进行影 像处理。 b. 如果要在实时影像上调整参考晶片的位置 时，请…
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 139
6.5 指定参考晶片
补充晶圆时，需要指定参考晶片。在多功能晶圆单元中安装晶圆托架，按下 SUPPLY COPLT
按钮后，显示参考晶片指定画面。
6.5.1 参考晶片指定画面
6.5.2 指定参考晶片
1. 请按下其中一个按钮。
6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
140 多功能晶圆单元使用说明书
2. 请调整参考晶片的位置。
a. 如果要通过晶圆图表修正参考位置时，请进行以下的操作。
·请按下上下左右的滚动按钮，移动到想要指定的晶片的位置，然后点击对象晶
片。
备注 )被点击的晶片变成新的参考晶片。
·按下 Reference Check 按钮。相机移动到所指定的位置进行影像处理。
b. 如果要在实时影像上调整参考晶片的位置时，请进行以下的操作。
·请按下上下左右的滚动按钮，调整参考晶片的位置。
·请按下 Reference Check 按钮。相机移动到所指定的位置进行影像处理。
备注 )影像处理没有 OK 时，按下强制 Reference OK 按钮。此时，将现在位置作为读取位置，
并且补正量变成 0。
Reference Check
Reference Check
Reference OK
