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INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑多功能晶圆单元使用说明书 107 3. 显示设定主画面。测定切割宽度 1. 在设定主画面上，请按下切割宽度测定按钮。 2. 显示切割宽度测定画面。请决定进行测定的方向。 a. 按下 X Cut Width 按钮后，就会测定 X 方向的切割宽度。 b. 按下 Y Cut Width 按钮后，就会测定 Y 方向的切割宽度。备注 )初始设定为 2 个都被选择的状态…

5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S

106 多功能晶圆单元使用说明书

6. 对象模组和多功能晶圆单元的操作换面切换到各自的测试模式。

显示设定画面

1. 请使用箭头按钮，选择进行影像取得的安装了晶圆的料槽。

2. 按下 OK 按钮。

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INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑

多功能晶圆单元使用说明书 107

3. 显示设定主画面。

测定切割宽度

1. 在设定主画面上，请按下切割宽度测定按钮。

2. 显示切割宽度测定画面。请决定进行测定的方向。

a. 按下 X Cut Width 按钮后，就会测定 X 方向的切割宽度。

b. 按下 Y Cut Width 按钮后，就会测定 Y 方向的切割宽度。

备注 )初始设定为 2 个都被选择的状态。

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5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S

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3. 请按下 START 按钮。

4. 指定第 1 点的测定位置。

a. 按下滚动按钮，使十字线（相机中心）对准晶片的轮廓。

b. 按下 NEXT 按钮。

5. 请指定第 2 点的测定位置。

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