多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第209页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 195 4. 显示图表信息删除的画面。请按下 OK 按钮。 备注 )按下 CANCEL 按钮后，托架卸下指令就会被中止。 通过以上的操作，相应料槽变成 未补充的状态，图表数据被删除。 01NST -1365 OK CANCEL
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
194 多功能晶圆单元使用说明书
7.7.2 卸下托架
有图表数据和无图表数据时的画面显示和操作方法各不相同。
有图表数据时
1. 请打开正面门，卸下相应的托架。
2. 使用箭头按钮选择已取出的料槽。所选择的料槽以绿色显示。
3. 按下 OK 按钮。
备注 )也可以在按下 OK 按钮后卸下托架。
通过以上的操作，相应料槽变成未补充的状态，图表数据被删除。
无图表数据时
1. 请打开正面门，卸下相应的托架。
2. 使用箭头按钮选择已取出的料槽。所选择的料槽以绿色显示。
3. 按下 OK 按钮。
备注 )也可以在按下 OK 按钮后卸下托架。
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OK
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OK
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多功能晶圆单元使用说明书 195
4. 显示图表信息删除的画面。请按下 OK 按钮。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，托架卸下指令就会被中止。
通过以上的操作，相应料槽变成未补充的状态，图表数据被删除。
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OK CANCEL
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7.8 补救错误元件
运转中，因吸取失误或影像处理错误，发生不能贴装的元件。此时，如果进行错误元件补救
设定，能够再次使用晶圆上剩余的元件。
7.8.1 如何显示错误元件补救画面
1. 在操作面板处在开始等待的状态的时候，请按下 OK 按钮。
2. 显示换线指令菜单。请选择错误元件补救指令。
3. 显示料槽选择画面。请选择对象料槽，按下 START 按钮。
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