多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第313页
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品 多功能晶圆单元使用说明书 299 5. 拆下固定着 CPU 电路板的螺丝 （4 个） 。 6. 拉出 CPU 电路板。 7. 更换电池。提起电池的前方从电池架上拆 下电池。安装时，从后方开始安装 ，压入安 装。 8. 将 CPU 电路板插入 CPU 箱内。 9. 按照与拆下时相反的步骤，将 CPU 箱和盖罩安装到多 功能晶圆单元上。 01NST -2024 01NST -2026 …
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
298 多功能晶圆单元使用说明书
11.3.5 更换方法
1. 从模组上卸下多功能晶圆单元。
2. 拆下螺丝，拆下 CPU 箱的盖罩。
3. 请将防静电腕带戴在手腕处。腕带的连接口 （EARTH BONDING POINT）被设置在基座的
正面和后面上方。
4. 使用 No.1 尺寸的十字螺丝刀和一字螺丝刀，拆下 CPU 箱的以■表示的连接电缆。
警告
请务必切断机器的主电源，然后进行更换作业。
注意
插拔连接电缆时，请握住接插件，不要拉扯电缆。
连接接插件时，请确认接插件名称，不要出错。
在带静电的情况下持续作业，有可能损坏 CPU 箱内的电子元件。
01NST-2020
01NST-2025S
HEAD
12V
MARK PART1
PANEL LINK
LAN
RS232CCUNET
BAT
5
6
7
8
1
2
RGB IN
USB
DIO
UART1-4
1394PO
I/O OUT IN
PART 2
TRIG OUT TRIG IN
᳝ᴵᔶⷕ䇏প఼˄䗝䌁ӊ˅ᯊ
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INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 299
5. 拆下固定着 CPU 电路板的螺丝 （4 个）。
6. 拉出 CPU 电路板。
7. 更换电池。提起电池的前方从电池架上拆下电池。安装时，从后方开始安装，压入安
装。
8. 将 CPU 电路板插入 CPU 箱内。
9. 按照与拆下时相反的步骤，将 CPU 箱和盖罩安装到多功能晶圆单元上。
01NST-2024
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11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
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11.3.6 登录固有值
在更换了 CPU 箱后，进行固有值的重新登录。
1. 将固有值的备份数据复制到安装了附加软件的电脑上。
2. 将基座的主电源开关设置为 ON，将模组和多功能晶圆单元变成开始按钮等待的状态。
3. 启动辅助软件。
4. 选择对象模组，点击菜单的 [Calibration]。
5. 从固有值管理菜单中点击 [Proper data value file registration]。
6. 点击 [Browse] ，选择复制在电脑中的固有值的备份数据。
7. 点击 [OK]。显示 [File name]、[Serial No.]、[MWU type]，确认没有出错。
8. 点击 [Proper data value file registration]。将固有值数据发送到基座。
9. 重新启动多功能晶圆单元。固有值被反映。
01NST-2023E
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