多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第196页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 182 多功能晶圆单元使用说明书 行列数的设定 从图表编辑菜单画面上选择行列 数的设定菜单后，就会显示行列数 设定画面。 备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。 1. 选择行数或列数后，就会显示数字键盘。 备注 )0 的时候，自动决定行列数。 2. 在数字键盘上输入从晶圆外 圈到扁平面的列数。按下 E nter 按钮后，所输入的数值就会 被确定…
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 181
图表编辑
对照图表影像和实际影像，如果晶片的位置存在偏差时，请进行图表编辑。
1. 完成吸取开始点、晶圆的前后左右所有的图表影像和实际影像的确认后，图表编辑按钮
就会变成有效。请按下图表编辑按钮。
2. 显示图表编辑菜单画面。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，则返回到图表影像和实际影像的确认画面。此处，NEXT 按钮为无
效。
3. 请选择菜单，进入各自的编辑画面。
01NST-1351S
CANCEL NEXT
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
182 多功能晶圆单元使用说明书
行列数的设定
从图表编辑菜单画面上选择行列数的设定菜单后，就会显示行列数设定画面。
备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。
1. 选择行数或列数后，就会显示数字键盘。
备注 )0 的时候，自动决定行列数。
2. 在数字键盘上输入从晶圆外圈到扁平面的列数。按下 Enter 按钮后，所输入的数值就会
被确定。
3. 完成行数、列数的设定后，请按下 Complete 按钮。移动到图表编辑菜单画面。
CANCEL
Complete
01NST-1065
01NST-1354
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 183
有效晶片范围的调整
从图表编辑菜单画面上选择有效晶片范围的调整菜单后，就会显示调整画面。
备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。
1. 请数次按下加号按钮或减号按钮，变更有效晶片的范围。当绿色的表示器变成最大的时
候，有效晶片变化了一个范围。
2. 完成有效晶片的范围调整后，请按下 Complete 按钮。移动到图表编辑菜单画面。
01NST-1355
CANCEL Complete
01NST-1356S
+
-
: :
01NST-1725