多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第285页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 271 10.用干净的布擦去 PZ 轴滚 珠丝杆 (3) 处的污垢。 11.将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。 12.使用刷子，在 PZ 轴滚珠 丝杆 (3) 处均匀地涂敷润滑 油。 13.用干净的布擦去溢 出的多余的润滑 油。 14.安装多功能晶圆单 元的背面盖罩。 15.将多功能晶圆单元 安装到模组中。 （详 细…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
270 多功能晶圆单元使用说明书
10.10 每 12000 小时的作业
10.10.1 驱动部的加油
〈PP 单元〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 松开安装螺丝，拆下 PX 轴滚珠丝杆的盖罩。
4. 用干净的布擦去 PX 轴滚珠丝杆 (1) 和导轨 (2) 的污垢。
5. 使用润滑油枪，向 PX 轴滚珠丝杆的润滑油嘴喷射 0.35cc 的 Daphne Eponex No.2 。
6. 将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
7. 使用刷子，在 PX 轴导轨 (2) 处均匀地涂敷润滑油。
8. 手动动作 PX 轴，使润滑油循环。
9. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
润滑油 加油处 加油量 (cc)
Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) (1)PX 轴滚珠丝杆 0.35
NS7 （NSK）或 Multemp SRL （协同油
脂）
(2)PX 轴导轨 0.35
(3)PZ 轴滚珠丝杆 0.35
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 271
10.用干净的布擦去 PZ 轴滚珠丝杆 (3) 处的污垢。
11.将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
12.使用刷子，在 PZ 轴滚珠丝杆 (3) 处均匀地涂敷润滑油。
13.用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
14.安装多功能晶圆单元的背面盖罩。
15.将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
(3)
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
272 多功能晶圆单元使用说明书
〈托架往复臂〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 用干净的布擦去 TY 轴导轨 (1) 和托架夹头部导轨 (2) 处的污垢。
4. 将 0.6cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
5. 使用刷子，在 TY 轴导轨 (1) 处均匀地涂敷润滑油。
6. 将 0.1cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
7. 使用刷子，在托架夹头部导轨 (2) 处处均匀地涂敷润滑油。
8. 手动动作 TY 轴和托架夹头部，使润滑油循环。
9. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
10.安装多功能晶圆单元的背面盖罩。
11.将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
润滑油 加油处 加油量 (cc)
NS7 （NSK）或 Multemp SRL （协同油
脂）
(1)TY 轴导轨 0.6
(2) 托架夹头部导轨 0.1
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