多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第37页
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图 多功能晶圆单元使用说明书 23 输入信号 输出信号 图中号码 地址 信号名 1 NX00D 不良元 件排出许可确认 （中央） 2 NX00E 不良元 件排出许可确认 （侧面） 3 NX00F 不良元 件排出搬运轨道送出计数 图中号码 地址 信号名 4 NY000 不良元 件排出搬运轨道送出指示
3. 传感器配置图
I
NS-NXTMWU-4.2S
22 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
3.8 元件排出搬运轨道
9 NX040 顶起 Y 轴机械手汽缸 READY
NX041 顶起 Y 轴机械手汽缸定位完成信号 1
NX042 顶起 Y 轴机械手汽缸定位完成信号 2
NX043 顶起 Y 轴机械手汽缸 ALM
图中号码 地址 信号名
9 NY030 顶起 Y 轴机械手汽缸驱动指令 1
NY031 顶起 Y 轴机械手汽缸驱动指令 2
NY032 顶起 Y 轴机械手汽缸紧急停止输出
10 NY034 顶起销料带吸取
11 NY035 顶起销料带真空破坏
图中号码 地址 信号名
01NST-1518a
1
2
3
4
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 23
输入信号
输出信号
图中号码 地址 信号名
1 NX00D 不良元件排出许可确认 （中央）
2 NX00E 不良元件排出许可确认 （侧面）
3 NX00F 不良元件排出搬运轨道送出计数
图中号码 地址 信号名
4 NY000 不良元件排出搬运轨道送出指示
3. 传感器配置图
I
NS-NXTMWU-4.2S
24 多功能晶圆单元使用说明书
MEMO: