多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第252页
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S 238 多功能晶圆单元使用说明书 5. 请指定第 2 点的测定位置。 a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮 廓。 b. 按 下 NEXT 按 钮。 备注 )如果离开第 1 点的距离超过 1.0 mm，不能够按下 NEXT 按钮。按下 CANCEL 按钮后，就 会返回到 1. 项的画面。 6. 以毫米单位显示测定值。请进行确认。 a. 之 后，如果要进行微调 整，请按下…
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 237
2. 显示切割宽度测定画面。请决定进行测定的方向。
a. 按下 X Cut Width 按钮后，就会测定 X 方向的切割宽度。
b. 按下 Y Cut Width 按钮后，就会测定 Y 方向的切割宽度。
备注 )初始设定为 2 个都被选择的状态。
3. 请按下 START 按钮。
4. 指定第 1 点的测定位置。
a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮廓。
b. 按下 NEXT 按钮。
NEXT
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
238 多功能晶圆单元使用说明书
5. 请指定第 2 点的测定位置。
a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮廓。
b. 按下 NEXT 按钮。
备注 )如果离开第 1 点的距离超过 1.0 mm，不能够按下 NEXT 按钮。按下 CANCEL 按钮后，就
会返回到 1. 项的画面。
6. 以毫米单位显示测定值。请进行确认。
a. 之后，如果要进行微调整，请按下 X Cut Width/Y Cut Width 按钮。
b. 确定测定值时，请按下 COMPLETE 按钮。数据被更新，并返回到 2. 项的画面。
NEXTBACKCANCEL
COMPLETECANCEL
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多功能晶圆单元使用说明书 239
7. 按下 X Cut Width 按钮或 Y Cut Width 按钮后，就会显示数字键盘。请在数字键盘上输
入宽度，按下 Enter 按钮。
备注 )所输入的数值如果是无效，在数字键盘输入栏内显示 [0]。
8. 请确认 X Cut Width 或 Y Cut Width 的数值是否被更新了。
9. 请按下 COMPLETE 按钮。数据被更新，并返回到项的画面。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，所变更的数据就会被取消。
保存编辑数据
请将测定的数值反映给 Job。
另外，启动 MEdit也能够进行切割宽度设定。详细内容请参照 "5.6 通过 MEdit 的 Job 编辑 "。
COMPLETECANCEL
01NST-1641E