多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第84页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 70 多功能晶圆单元使用说明书 7. 指定固有值文件名和保存位置，点击 [Save]。固有值被保存。文件名必须以 "MWU_SRAM_CALIB_ MWU8i_TW08A000*** " 进行保存。另 外，[***] 请输 入进行固有值备份 的多功能晶圆单元的序列号。 01NST -2044E 㪤㪮㪬㪶㪪㪩 㪘㪤㪶㪚㪘㪣㪠 㪙㪶㪤㪮㪬㪏 㫀㪶㪫 㪮㪇 㪏 㪘㪇 㪇 㪇 㪁 …
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
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4.5.5 备份固有值
进行了吸取高度修正测定后，吸取高度修正值和 [InspectionTool.ini] 文件就会被变更。
请备份包含了吸取高度修正值的固有值和 [InspectionTool.ini] 文件。
备注 )[InspectionTool.ini] 的备份数据在下次的吸取修正测定时使用。固有值在更换 CPU
箱电池和 CPU 箱时使用。
1. 取得 [InspectionTool.ini] 文件的备份。请复制 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内的
[InspectionTool.ini] 文件，粘贴到备份数据的保存场所。
2. 取得固有值的备份。请打开 [MWU.exe]。显示 MENU 画面。
3. 在 [Connect IP Address] 中输入要安装多功能晶圆单元的基座的 IP 地址，确认
[M1(P)] 中选择了复选框。
4. 点击 [Connection check] 指令，确认显示了 [OK]。
5. 点击 [ETC] 指令。显示 ETC 画面。
6. 点击固有值 Backup 的 [Start] 指令。
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
70 多功能晶圆单元使用说明书
7. 指定固有值文件名和保存位置，点击 [Save]。固有值被保存。文件名必须以
"MWU_SRAM_CALIB_MWU8i_TW08A000***" 进行保存。另外，[***] 请输入进行固有值备份
的多功能晶圆单元的序列号。
01NST-2044E
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INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
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5. Job 的设定和编辑
说明贴装晶圆供应元件（晶片）所需的设定。贴装料带元件和料盘元件时的设定请参照 [NXT
II 编程手册 ]。
在 Fuji Flexa 中创建 Job，设定以下的数据。
另外，说明使用 MEdit 的影像处理测试、吸取测试以及切割宽度设定。
5.1 元件数据
此处，设定 [Shape Name]、[Package Name] 和 [Direction] 等。
5.1.1 设定方法
1. 在 Fuji Flexa 中打开 Job。
2. 在 Job 编制器的菜单中选择 [Part]，并且选择 [Use Wizard] 或者 [Enter Manually]。
3. 显示元件数据的新建对话框。请输入 [Part number]，点击 [New]。
备注 )如果在 2. 项中选择了 [Wizard]，在输入 [Part number] 后点击 [OK]。
4. 设定元件数据的各项目。
· 元件数据 · 外形数据 · 封装数据
· 定位点数据 · 机器构成数据
项目名 值 说明
Part Shape （手工输入） 元件外形名的设定
Package Name （手工输入） 封装名的设定
Polarized (Yes, No) 设定是否存在元件极性
Direction (0, 90, 180, 270 deg) 指定元件数据的 Direction
Wafer Direction (0, 90, 180, 270 deg) 指定相对于晶圆环的方向
（参照 "5.1.2 补充信息 ")
Barcode Label （手工输入） 供料器检查用条形码标签的设定
Part Comment （手工输入） 输入元件的注解
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