多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第17页
INS-NXTMWU-4.2S 1. 安全指南 多功能晶圆单元使用说明书 3 1.3 安全标识 表示使用机器时的注意事项的安 全标识贴在机器的下图所示位置。 1.3.1 安全标识的含义 167F 标识 含义 注意、警告 : 注意触电 请关闭电源然后进行维修保养 。
1. 安全指南 INS-NXTMWU-4.2S
2 多功能晶圆单元使用说明书
1.2 多功能晶圆单元的注意事项
警告
在将多功能晶圆单元安装到机器中的时候，请确认多功能晶圆单元与
机器间没有人。
·手或者身体有可能被卷入机器内而受伤。
注意
在开闭多功能晶圆单元的正面上方门和正面下方抽屉等的时候，请注
意不要夹着手指。另外，禁止敞开各扇门。
挤压注意
·有可能碰到手脚而受伤。
在操作多功能晶圆单元高度调整手柄的时候，请注意手指不要被夹在
手柄与盖罩之间。
卷入注意
·手指有可能受伤。
请不要将手从多功能晶圆单元下方伸入，接触内部的驱动部。 卷入注意
·手指有可能受伤。
INS-NXTMWU-4.2S 1. 安全指南
多功能晶圆单元使用说明书 3
1.3 安全标识
表示使用机器时的注意事项的安全标识贴在机器的下图所示位置。
1.3.1 安全标识的含义
167F
标识 含义
注意、警告 : 注意触电
请关闭电源然后进行维修保养。
1. 安全指南 INS-NXTMWU-4.2S
4 多功能晶圆单元使用说明书
1.4 紧急停止按钮
发生紧急情况时，请按下红色的紧急停止按钮停止机器运转。紧急停止按钮的位置请参考下
图。
1676F
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