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3. 传感器配置图 I NS-NXTMWU-4.2S 10 多功能晶圆单元使用说明书 3.2 安全门和空气压、真空压 输入信号 图中号码 地址 信号名 1 DX001 料盘箱门关闭确认 2 DX002 排出门关闭确认 3 DX003 吸嘴更换器门关闭确认 4 DX008 空气压确 认 5 DX009 真空压确 认 6 DX00A 紧急停止 SW 7 NX002 真空泵压力正常 NX004 吸取确认参考时压力正常 8 NX00A 控制 B…
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 9
3. 传感器配置图
以下说明多功能晶圆单元中所使用的各种传感器的配置和 I/O （输入输出信号）显示的读
法。
注意 )根据机器的状态，如果进行 I/O 的输出操作，机器有可能损坏。输出操作请在本公司
和代理店售后服务人员的指示下进行。
3.1 I/O 的确认方法
确认传感器的 I/O（输入输出信号）时，需要软件工具 [Equipment Check]。启动 [Equipment
Check] 后就会显示以下的画面，请选择单元进行 I/O 的确认。
备注 )关于 [Equipment Check] 的详细说明，请参照 [NXT II 系统手册 ] 的 [NXT-2 软件工具
] 的 [Equipment Check]。
在以下的插图和表格中，表示传感器 （图中号码）和地址的关系。
01NST-2014E
3. 传感器配置图
I
NS-NXTMWU-4.2S
10 多功能晶圆单元使用说明书
3.2 安全门和空气压、真空压
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 DX001 料盘箱门关闭确认
2 DX002 排出门关闭确认
3 DX003 吸嘴更换器门关闭确认
4 DX008 空气压确认
5 DX009 真空压确认
6 DX00A 紧急停止 SW
7 NX002 真空泵压力正常
NX004 吸取确认参考时压力正常
8 NX00A 控制 BKT 风扇旋转正常
01NST-0699d
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INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
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输出信号
9 NX00B 温度熔断器正常
10 NX00C 热正常
11 NX010 吸取工作头 1 有元件确认 （交付前）
NX026 吸取工作头 1 有元件确认 （交付后）
12 NX011 吸取工作头 2 有元件确认 （交付前）
NX027 吸取工作头 2 有元件确认 （交付后）
13 NX012 吸取工作头 3 有元件确认 （交付后）
NX028 吸取工作头 3 有元件确认 （交付前）
14 NX013 吸取工作头 4 有元件确认 （交付后）
NX029 吸取工作头 4 有元件确认 （交付前）
15 NX018 晶片往复臂 1 吸取确认
16 NX019 晶片往复臂 2 吸取确认
17 NX01A 晶片往复臂 3 吸取确认
18 NX01B 晶片往复臂 4 吸取确认
19 NX01C 翻转 1 吸取确认
20 NX01D 翻转 2 吸取确认
21 NX01E 翻转 3 吸取确认
22 NX01F 翻转 4 吸取确认
23 NX02F 顶起料带吸取确认 （直接搬运）
NX03F 顶起料带吸取确认 （往复臂搬运）
图中号码 地址 信号名
1 DY008 料盘箱门锁定
2 DY009 排出门锁定
3 DY00A 吸嘴更换器门锁定
11 NY028 PP 工作头 1 自动参考
12 NY029 PP 工作头 2 自动参考
13 NY02A PP 工作头 3 自动参考
14 NY02B PP 工作头 4 自动参考
24 NY02E PP 工作头真空泵开启
图中号码 地址 信号名